[发明专利]热电转换组件及热电转换组件的制造方法有效
申请号: | 201310131775.8 | 申请日: | 2013-02-08 |
公开(公告)号: | CN103311423B | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 林高广 | 申请(专利权)人: | 雅马哈株式会社 |
主分类号: | H01L35/08 | 分类号: | H01L35/08;H01L35/34 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热电 转换 组件 制造 方法 | ||
1.一种热电转换组件,其特征在于,具备:
一对基板;
电极,其形成在所述一对基板的对置的面上;
热电元件,其配置在所述电极之间;以及
接合层,其接合所述电极与所述热电元件;
所述接合层的厚度为30μm以上,并且所述接合层包括平均晶体粒径大于1μm且为10μm以下的第一层和平均晶体粒径大于10μm的第二层。
2.根据权利要求1所述的热电转换组件,其特征在于,
所述接合层包括通过烧结浆料而形成的烧结层和邻接所述烧结层且由与形成所述烧结层的金属粒子相同的金属形成的电镀层。
3.根据权利要求1或2所述的热电转换组件,其特征在于,
所述接合层包括多层高氧浓度层,该多层高氧浓度层以沿着所述接合层的厚度方向的氧浓度的变化超过规定基准的位置为界面。
4.根据权利要求1或2所述的热电转换组件,其特征在于,
在所述接合层与所述热电元件之间以及所述接合层与所述电极之间的至少一方,形成有防止材料扩散的防扩散层。
5.一种热电转换组件的制造方法,其特征在于,包括:
在一对基板的对置的面上形成电极的工序;
在所述电极之间配置热电元件的工序;以及
在所述电极与所述热电元件之间形成包含小于100nm的金属粒子的浆料,并通过烧结所述浆料而形成将所述电极与所述热电元件接合的、厚度为30μm以上的接合层的工序;
形成所述接合层的工序包括:形成平均晶体粒径大于1μm且为10μm以下的第一层的工序;形成平均晶体粒径大于10μm的第二层的工序。
6.根据权利要求5所述的热电转换组件的制造方法,其特征在于,
形成所述接合层的工序包括:通过烧结所述浆料而形成烧结层的工序;邻接所述烧结层而电镀与所述金属粒子相同的金属,从而形成电镀层的工序。
7.根据权利要求5或6所述的热电转换组件的制造方法,其特征在于,包括:在所述接合层与所述热电元件之间以及所述接合层与所述电极之间的至少一方,形成防止材料扩散的防扩散层的工序。
8.一种热电转换组件的制造方法,其特征在于,包括:
在一对基板的对置的面上形成电极的工序;
在所述电极之间配置热电元件的工序;以及
在所述电极与所述热电元件之间形成包含小于100nm的金属粒子的浆料,并通过烧结所述浆料而形成将所述电极与所述热电元件接合的、厚度为30μm以上的接合层的工序;
所述接合层包括多层高氧浓度层,该多层高氧浓度层以沿着所述接合层的厚度方向的氧浓度的变化超过规定值的位置为界面。
9.根据权利要求8所述的热电转换组件的制造方法,其特征在于,
形成所述接合层的工序包括:通过烧结所述浆料而形成烧结层的工序;邻接所述烧结层而电镀与所述金属粒子相同的金属,从而形成电镀层的工序。
10.根据权利要求8或9所述的热电转换组件的制造方法,其特征在于,包括:在所述接合层与所述热电元件之间以及所述接合层与所述电极之间的至少一方,形成防止材料扩散的防扩散层的工序。
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