[发明专利]一种石英音叉式双轴微陀螺仪

权利要求书

1.一种石英音叉式双轴微陀螺仪，其特征在于：具体包括四个驱动叉指、四个敏感叉指、六边形框架、左横梁、右横梁、中心固支结构、多个驱动电极、y轴敏感电极和z轴敏感电极；

所述的中心固支结构包括上连接梁、下连接梁和固定方块；固定方块位于六边形框架中心，上连接梁、下连接梁分别从固定方块的y轴正方向、负方向引出，连接到六边形框架与x轴平行的上下两边的中点；

所述的六边形框架的两个对称顶点分别分布在x轴的正方向与负方向上，左横梁沿x轴负方向、与六边形框架的顶点连接；右横梁沿x轴正方向、与六边形框架的顶点连接；

所述的四个驱动叉指结构相同，分别为第一驱动叉指、第二驱动叉指、第三驱动叉指和第四驱动叉指；第一驱动叉指、第二驱动叉指对称位于x轴的两侧、垂直于左横梁；第三驱动叉指、第四驱动叉指对称位于x轴的两侧、垂直于右横梁；第一驱动叉指、第二驱动叉指与第三驱动叉指、第四驱动叉指相对六边形框架中心对称；

所述的四个敏感叉指结构相同，分别为第一敏感叉指、第二敏感叉指、第三敏感叉指和第四敏感叉指；第一敏感叉指、第二敏感叉指、第三敏感叉指和第四敏感叉指分别与y轴平行，位于第一驱动叉指、第二驱动叉指、第三驱动叉指、第四驱动叉指和六边形框架之间；且第一敏感叉指、第二敏感叉指与第三敏感叉指、第四敏感叉指相对六边形框架中心对称；

所述的驱动电极分为驱动正电极与驱动负电极；驱动正电极分别布置在第一、第二驱动叉指的上下表面和第三、第四驱动叉指的左右侧面；驱动负电极电极分别布置在第一、第二驱动叉指的左右侧面和第三、第四驱动叉指的上下表面；其中上表面电极与下表面电极通过叉指顶端相连接，左侧面电极与右侧面电极通过引线相连接；

所述y轴敏感电极分为y轴敏感正电极与y轴敏感负电极；y轴敏感正电极布置在第三敏感叉指左侧面的下半部和右侧面的上半部及第四敏感叉指左侧面的上半部和右侧面的下半部；y轴敏感负电极布置在第三敏感叉指左侧面的上半部和右侧面的下半部及第四敏感叉指左侧面的下半部和右侧面的上半部；

所述z轴敏感电极分为z轴敏感正电极与z轴敏感负电极；z轴敏感正电极布置在第一敏感叉指和第二敏感叉指的上下表面；z轴敏感负电极布置在第一敏感叉指和第二敏感叉指的左右侧面。

2.根据权利要求1所述的一种石英音叉式双轴微陀螺仪，其特征在于：以六边形框架的中心为原点，右横梁为x正向，按照右手原则建立的坐标系来确定y轴和z轴。

3.根据权利要求1所述的一种石英音叉式双轴微陀螺仪，其特征在于：多个驱动电极和敏感电极的引线汇集于中心固支结构的固定方块，并从此引出。

4.根据权利要求1所述的一种石英音叉式双轴微陀螺仪，其特征在于：位于侧面的电极覆盖整个侧面；位于上下表面的电极在叉指长度方向整个覆盖，在宽度方向与侧面电极留有一定距离，防止与侧面电极相接触造成短路。

5.根据权利要求1所述的一种石英音叉式双轴微陀螺仪，其特征在于：由具有一定厚度的z向切割石英晶片经过湿法刻蚀工艺加工而成。