[发明专利]倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法无效
申请号: | 201310140009.8 | 申请日: | 2013-04-22 |
公开(公告)号: | CN103258755A | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 孔令超;田艳红;王春青;杭春进;刘宝磊 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01N25/72 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒装 芯片 点缺陷 测温 检测 | ||
1.一种倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法,其特征在于所述方法步骤如下:
在倒装芯片的基底一侧分别设置有热像仪和红外激光器,将红外激光束对准倒装芯片基底待测焊盘,调整好功率和脉宽参数,对之施以热激励,热像仪实时检测激光光点照射处的基底待测焊盘的温升过程,同时观察和拍摄温升最高点的热图像,根据温升曲线或热像图判断倒装焊芯片焊点缺陷。
2.根据权利要求1所述的倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法,其特征在于所述激光光束直径小于焊盘直径。
3.根据权利要求1所述的倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法,其特征在于当焊点存在缺球、虚焊、气孔、裂纹缺陷时,热像仪所检测到的焊盘温升曲线高于合格焊点。
4.根据权利要求1所述的倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法,其特征在于当焊点存在桥连缺陷时,热像仪所检测到的温升曲线低于合格焊点。
5.根据权利要求1所述的倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法,其特征在于当缺球、大裂纹、大气孔、桥连缺陷严重时,通过对比热图像进行判断。
6.根据权利要求5所述的倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法,其特征在于在缺球、大裂纹、大气孔情况下,热像仪所摄取的基底焊盘显示异常的高温。
7.根据权利要求5所述的倒装焊芯片焊点缺陷背视测温检测法,其特征在于当被测焊点有明显桥连时,热像仪所摄取的基底会有两个或多个无关的焊盘有异常温升。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造