[发明专利]一种图案化石墨烯导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其步骤包括：

（1）将柔性衬底洗净、吹干，用等离子体对柔性衬底处理；

（2）采用凹版印刷工艺，将Hummers法制得的氧化石墨烯油墨印刷在步骤（1）中得到的柔性衬底上，将其放在烘箱中干燥，得到氧化石墨烯薄膜；

（3）将步骤（2）中制得的氧化石墨烯薄膜进行还原处理，即制得图案化石墨烯导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中的柔性衬底为聚酰亚胺（PI）、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)或纸中的一种。

3.根据权利要求1所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中，用等离子体对柔性衬底进行刻蚀处理时的气流量为5-200sccm,功率为5-120W,刻蚀时间为5-600s。

4.根据权利要求1所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中的等离子体为氧等离子体,氩等离子体或者氮等离子。

5.根据权利要求1所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）中，氧化石墨烯油墨的浓度为15-80mg/mL。

6.根据权利要求1所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）中，干燥温度为30℃-100℃，干燥时间为10-50分钟。

7.根据权利要求1所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）中，还原处理方式为热退火还原、激光照射还原及化学试剂还原中的一种。

8.根据权利要求7所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述热退火还原的步骤为，将氧化石墨烯薄膜置于真空惰性环境中，100℃-550℃温度下退火处理0.5-12小时。

9.根据权利要求7所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述激光照射还原的步骤为，将氧化石墨薄烯膜置于脉冲激光环境中，在频率为7-12Hz，能量密度为100-350mJ/cm²条件下照射5-300分钟。

10.根据权利要求7所述的图案化石墨烯导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述化学试剂还原的步骤为，将氧化石墨烯薄膜置于含有水合肼和氨的混合蒸汽环境中，90℃下反应5-180分钟。