[发明专利]一种基板加热设备

权利要求书

1.一种基板加热设备，其特征在于，包括加热单元、悬空固定单元，所述悬空固定单元用于将基板悬空固定在所述加热单元的上方。

2.根据权利要求1所述的基板加热设备，其特征在于，所述悬空固定单元包括气流支撑单元，所述气流支撑单元用于向所述基板吹气，并使所述基板悬浮固定在所述加热单元的上方。

3.根据权利要求2所述的基板加热设备，其特征在于，所述气流支撑单元包括：气源、连接所述气源的吹气机、连接所述吹气机的吹气通道，所述吹气通道设置在所述加热单元上，所述吹气机通过所述吹气通道将气流吹出，且吹出气流的流动方向朝向所述基板。

4.根据权利要求3所述的基板加热设备，其特征在于，所述吹气通道包括相互连通的第一吹气通道和第二吹气通道，所述第一吹气通道和所述第二吹气通道的轴向相互垂直，且所述第一吹气通道连接所述吹气机，所述第二吹气通道朝向所述基板。

5.根据权利要求4所述的基板加热设备，其特征在于，所述气流支撑单元还包括气体加热器，所述气体加热器设置在所述气源与所述吹气机之间，所述气体加热器一端与所述气源连接，另一端与所述吹气机连接。

6.根据权利要求4所述的基板加热设备，其特征在于，所述气流支撑单元还包括回气单元，所述回气单元用于回收从所述吹气通道流出的气流，且所述回气单元连接所述气源。

7.根据权利要求6所述的基板加热设备，其特征在于，所述回气单元包括：连接所述气源的抽气机、连接所述抽气机的回气通道，所述回气通道设置在所述加热单元上，所述抽气机通过所述回气通道将气流抽出，且抽出气流的流动方向朝向所述加热单元。

8.根据权利要求7所述的基板加热设备，其特征在于，所述回气通道包括相互连通的第一回气通道和第二回气通道，所述第一回气通道和所述第二回气通道的轴向相互垂直，且所述第一回气通道连接所述抽气机，所述第二回气通道朝向所述基板。

9.根据权利要求8所述的基板加热设备，其特征在于，所述吹气机的吹气压力大于所述抽气机的抽气压力。

10.根据权利要求8所述的基板加热设备，其特征在于，所述第二吹气通道和所述第二回气通道相邻设置。

11.根据权利要求1-10任一项所述的玻璃基板加热设备，其特征在于，所述悬空固定单元还包括吸盘，所述吸盘用于吸取所述基板，并使所述基板悬空固定在所述加热单元的上方；所述吸盘连接有用于容纳所述基板的加热腔，所述加热腔的底部设有所述加热单元。

12.根据权利要求11所述的基板加热设备，其特征在于，所述吸盘沿所述玻璃基板的四周边缘分布。

13.根据权利要求11所述的基板加热设备，其特征在于，所述吸盘为可伸缩吸盘，其伸缩方向垂直于所述玻璃基板的表面。

14.根据权利要求11所述的基板加热设备，其特征在于，所述加热腔内的侧面上设有至少两个相对的限位单元，所述限位单元用于控制所述基板相对于所述加热单元的位置。

15.根据权利要求14所述的基板加热设备，其特征在于，所述限位单元为可伸缩限位单元。