[发明专利]一种液相沉积二氧化锡的方法有效
申请号: | 201310145229.X | 申请日: | 2013-04-24 |
公开(公告)号: | CN103214030A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 孟庆波;肖俊彦;李冬梅;罗艳红 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | C01G19/02 | 分类号: | C01G19/02 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 王艺 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 沉积 氧化 方法 | ||
1.一种液相沉积二氧化锡的方法,其特征在于,包括:
以氟化亚锡的水溶液为原料,加入包含过氧化钙的添加剂,在基底的亲水性表面沉积二氧化锡;其中,所述添加剂同时作为氧化剂和氟离子捕获剂。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述氟化亚锡的水溶液的浓度为0.05~2mol/L。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述添加剂为不含结晶水的过氧化钙、过氧化钙的水合物或含有过氧化钙的混合物。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
液相沉积温度为20~80℃。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,
沉积的二氧化锡为平面、曲面上的薄膜或者为与模板形状一致的微米、纳米结构。
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