[发明专利]8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法

权利要求书

1.一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片，其特征在于：所述滤光片包括锗基底、基底一侧的长波通膜系和另一侧的短波通膜系；

长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（0.5lh0.5l）^10（0.57l1.14h0.57l）^6，中心波长为5980nm；l为硫化锌膜层，0.5l表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，0.57l表示硫化锌膜层厚度为0.57个基本厚度，h为碲化铅膜层，表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度，1.14h表示碲化铅膜层厚度为1.14个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，10为基本膜堆（0.5lh0.5l）的周期数，6为基本膜堆（0.57l1.14h0.57l）的周期数；

短波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（lh）^10，中心波长为11400nm；l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，h为碲化铅膜层，表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，10为基本膜堆（lh）的周期数。

2.根据权利要求1所述的一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片，其特征在于：基底长29.5mm，宽1.36mm，厚1.2mm；表面光洁度为40/20。

3.根据权利要求1或2所述的一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片，其特征在于：长波通膜系如表1所示，层数为1的膜层为长波通膜系的最外层，层数为33的膜层沉积在基底上，为长波通膜系的最内层；

表1  长波通膜系

。

4.根据权利要求1或2所述的一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片，其特征在于：短波通膜系如表2所示，层数为1的膜层为短波通膜系的最外层，层数为20的膜层沉积在基底上，为短波通膜系的最内层；

表2  短波通膜系

。

5.根据权利要求4所述的一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片，其特征在于：长波通膜系如表1所示，层数为1的膜层为长波通膜系的最外层，层数为33的膜层沉积在基底上，为长波通膜系的最内层；

表1  长波通膜系

。

6.一种如权利要求1或2所述的8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片的制备方法，其特征在于：所述方法步骤如下：

（1）将干净的基底装入清洁的真空室，抽真空至3.0×10^-3Pa；

（2）将基底加热到150℃，并保持30min；

（3）打开霍尔轻型离子源通氩气，气流量为30sccm，开启阴极电压为100～200V，阳极电压为50～100V，使得阳极电流为0.5A；采用电阻蒸发法分别在基底两侧沉积长波通膜系和短波通膜系；硫化锌膜层的沉积速率为2.0～3.0nm/s，碲化铅膜层的沉积速率为0.8～1.0nm/s；膜层厚度采用光比例法监控；

（4）基底自然冷却至室温，得到一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片。

7.根据权利要求6所述的一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片的制备方法，其特征在于：长波通膜系及膜层厚度监控如表3所示，层数为1的膜层为长波通膜系的最外层，层数为33的膜层沉积在基底上，为长波通膜系的最内层；

表3  长波通膜系及膜层厚度监控

。

8.根据权利要求6所述的一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片的制备方法，其特征在于：短波通膜系及膜层监控如表4所示，层数为1的膜层为短波通膜系的最外层，层数为20的膜层沉积在基底上，为短波通膜系的最内层；

表4  短波通膜系及膜层厚度监控

。

9.根据权利要求8所述的一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片的制备方法，其特征在于：长波通膜系及膜层厚度监控如表3所示，层数为1的膜层为长波通膜系的最外层，层数为33的膜层沉积在基底上，为长波通膜系的最内层；

表3  长波通膜系及膜层厚度监控

。