[发明专利]框架及包括此的掩模组件有效
申请号: | 201310146130.1 | 申请日: | 2013-04-24 |
公开(公告)号: | CN103579533B | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 吴允灿;李忠浩;郑茶姬 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人: | 韩明星,金玉兰 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 框架 包括 模组 | ||
技术领域
本发明涉及框架及包括此的掩模组件,尤其涉及用于支撑在进行有机发光层的沉积时使用的单位掩模的框架及包括此的掩模组件。
背景技术
显示装置是用于显示图像的装置,最近有机发光显示装置(organic light emitting diode display)受到关注。
有机发光显示装置具有自发光特性,与液晶显示装置(liquid crystal display device)不同,不需要专门的光源,因此可以减少厚度和重量。而且,有机发光显示装置可表现出低耗电、高亮度以及高响应速度等高品位特性。
为了制造有机发光显示装置,需要形成具有特定的图案的电极和有机发光层,作为其形成方法,可以应用使用掩模组件的沉积法。
具体来讲,有机发光显示装置具有如下结构,即,作为在基板上表现图像的基本单位的像素(pixel)以矩阵形式排列,每一个像素中间隔着发出红(Red)、绿(Green)、蓝(Blue)、白(White)等光的各个有机发光层而布置顺序地形成作为阳极的第一电极和作为阴极的第二电极的有机发光元件。在此,构成有机发光层的有机物质非常容易受到水分和氧气等的影响,因此在形成有机发光层的工艺和形成有机发光层之后,需要完全隔离水分,因而难以使用通常的光刻工艺执行图案化。据此,有机发光层主要利用仅在对应于各个图案的部分形成有用于使沉积物质贯穿的、被开口的图案部的掩模而形成。
最近,使用包括具备开口部的框架、对应于开口部而两端部固定在框架上的带状的多个单位掩模的掩模组件。
这种现有的掩模组件受到单位掩模的长度方向的拉伸力而支撑于框架,因此具有因受到的单位掩模长度方向的拉伸力而导致框架意外变形的问题。
发明内容
本发明的一实施例用于解决上述问题,其目的在于提供一种最小化因受到单位掩模的长度方向的拉伸力而产生的变形的框架及包括此的掩模组件。
为了达到上述目的,根据本发明的一方面,提供一种框架,用于支撑受到第一方向的拉伸力的单位掩模的两端部,该框架包括:形成露出所述单位掩模的开口部的框架主体部;贯穿形成于所述框架主体部的第一贯穿部。
多个所述单位掩模可以沿与所述第一方向交叉的第二方向布置而固定在所述框架主体部的上表面。
所述框架主体部可以包括:中间隔着所述开口部而相互面对,且沿所述第二方向延伸的两个长边部;中间隔着所述开口部而相互面对,且沿所述第一方向延伸的两个短边部;连接彼此相邻的所述长边部和所述短边部之间的四个拐角部。
所述第一贯穿部可形成于所述长边部的中央区域。
所述第一贯穿部可以是沿着所述第二方向延伸的四边形形态。
还可以包括第一凹槽,该第一凹槽从所述第一贯穿部至与所述第一贯穿部相邻的所述拐角部沿所述第二方向从所述框架主体部的下表面凹陷而延伸。
所述第一凹槽可以为多个。
所述第一凹槽越向所述拐角部延伸,所述第一方向的宽度可越增加。
所述第一贯穿部可以包括中间隔着所述长边部的中心而相互隔开的多个第一子贯穿部。
还可以包括贯穿形成于所述短边部的第二贯穿部。
所述第二贯穿部可以在相邻的所述拐角部之间,可以从一个拐角部延伸至另一拐角部。
所述第二贯穿部可以是沿所述第一方向延伸的四边形形态。
所述第二贯穿部可以包括中间隔着所述短边部的中心而相互隔开的多个第二子贯穿部。
还可以包括:位于所述第二贯穿部和所述开口部之间而与所述第二贯穿部面对,且从所述框架主体部的所述上表面至所述框架主体部的下表面逐渐变厚的第一倾斜面;位于所述第二贯穿部和所述框架主体部的外围之间而与所述第二贯穿部面对,且从所述框架主体部的所述上表面至所述框架主体部的下表面逐渐变薄的第二倾斜面。
各个所述第一倾斜面和所述第二倾斜面在所述第一方向上的长度可以与所述第二贯穿部相同。
所述第一倾斜面可以与所述开口部隔开,所述第二倾斜面可以从所述框架主体部的所述外围延伸。
还可以包括:位于所述第二贯穿部和所述开口部之间而与所述第二贯穿部面对,且从所述框架主体部的下表面凹陷的第二凹槽;位于所述第二贯穿部和所述框架主体部的外围之间而与所述第二贯穿部面对,且从所述框架主体部的所述上表面凹陷的第三凹槽。
各个所述第二凹槽和所述第三凹槽在所述第一方向上的长度可以与所述第二贯穿部相同。
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