[发明专利]水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具

说明书

技术领域

本技术方案涉及将印刷配线基板等薄板状被处理物的侧缘部从上下方向夹紧，并水平运送，在该水平运送过程中，对薄板状被处理物进行电镀处理的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具。

背景技术

作为印刷配线基板等薄板状被处理物的电镀处理装置，已知水平运送电镀处理装置，该水平运送电镀处理装置安装在被设置在薄板状被处理物的运送通路的单侧或者两侧的被环状地旋转驱动的运送驱动构件上并被旋转驱动，由在该旋转驱动路径中的前述运送通路侧的直线驱动路径部移动的夹紧夹具群将薄板状被处理物的单侧或者两侧的侧缘部从上下方向夹紧，以使该薄板状被处理物的板面为上下的水平状态向一方向连续地水平运送，在该水平运送过程中，使被前述夹紧夹具保持且被水平运送的薄板状被处理物在处理槽内的处理液中通过，对薄板状被处理物进行电镀处理（例如，专利文献1、2）。

作为该水平运送电镀处理装置的夹紧夹具，本申请人已经开发并提出了专利文献2的夹紧夹具。该夹紧夹具（在专利文献2中，称为夹持卡盘。）是以夹紧的自动开闭控制机构为主要的特征提出的夹紧夹具，在固定夹紧杆（在专利文献2中称为固定卡盘杆。）可上下动地保持的可动夹紧杆（在专利文献2中称为可动卡盘杆。）的保持构件在固定夹紧杆（固定卡盘杆25）的外侧面固定地设置上下两个保持部材25b、25c，由该上下的保持部材25b、25c上下动自由地保持棒形状的可动夹紧杆（可动卡盘杆26）。即、如专利文献2的图4、5所示，将棒形状的可动夹紧杆（可动卡盘杆）插通上下的保持部材25b、25c的上下方向的插通孔，可上下动地保持。

该夹紧夹具由于被前述固定夹紧杆可上下动地保持的前述可动夹紧杆的保持导向构件是棒形状的可动夹紧杆（可动卡盘杆）插通在上下的保持部材25b、25c的插通孔，可上下动地保持的结构，所以，难以将固定夹紧杆和可动夹紧杆的间隔宽度保持为稳定的状态，而且，存在棒状（圆棒）的可动夹紧杆在周方向摇晃的可能性。

其结果为，存在在夹紧夹具的固定夹紧杆的下夹紧接点部和上下动的可动夹紧杆的上夹紧接点部关闭的状态下，产生偏差，不能进行薄板状被处理物的稳定地运送的可能性，存在不能向薄板状被处理物进行稳定地供电的可能性。

尤其是，如图3所示，在为了缩窄薄板状被处理物的侧缘和夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。），将夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。）方向的宽度做成窄的形状，且做成使夹紧接点部在夹紧夹具的移动方向延长得长的形状的情况下，相对于固定侧的下夹紧接点部上下动的上夹紧接点部在距离间隙（图3中符号L所示。）方向产生摇晃，另外，产生图3单点划线所示那样的摇晃，上下接点部偏差不一致的弊端明显。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特公平6-31476号公报

专利文献2：日本特开2011-68492号公报

基于这样的实际情况，本技术方案以提供一种提高夹紧夹具的固定夹紧杆的下夹紧接点部和上下动的可动夹紧杆的上夹紧接点部的一致精度，能够进行薄板状被处理物的稳定地运送，且能够向薄板状被处理物进行稳定地供电的水平运送电镀处理装置中的薄板状被处理物的夹紧夹具为主要目的。

尤其是，以提供一种即使在为了缩窄薄板状被处理物的侧缘和夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。），将夹紧接点部的距离间隙（图3中符号L所示。）方向的宽度做成窄的形状，且做成使夹紧接点部在夹紧夹具的移动方向延长得长的形状的情况下，也不存在相对于固定侧的下夹紧接点部上下动的上夹紧接点部在距离间隙（图3中符号L所示。）方向摇晃，另外，也不存在图3中单点划线所示那样的摇晃，能够提高上下接点部的一致精度的夹紧夹具为主要目的。

发明内容