[发明专利]一种光阻涂布装置及其涂布方法

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示器制造领域，尤其涉及一种光阻涂布装置及其涂布方法。

背景技术

在液晶显示器LCD的制造过程中，需要使用光阻涂布装置在玻璃基板上涂上一定厚度的光阻（photo resist）。请参照图1和图2所示，现有的光阻涂布装置包括喷嘴1'，该喷嘴1'包括相对设置的第一喷嘴分体11'、第二喷嘴分体12'以及将第一喷嘴分体11'和第二喷嘴分体12'安装固定的顶板13'，第一喷嘴分体11'和第二喷嘴分体12'之间形成狭缝10'，狭缝10'的底部为光阻吐出口100'（如图2所示的阴影部分即为光阻），第一喷嘴分体11'和第二喷嘴分体12'的底部分别形成椎体。在第一喷嘴分体11'的操作面111'的中部设有光阻注入管112'，在光阻注入管112'的上方还设有排泡管113'，此外，在操作面111'的两侧也分别设有排泡管113'，排泡管113'用于将光阻注入时可能产生的气泡排出。光阻注入管112'和排泡管113'均贯穿第一喷嘴分体11'，与狭缝10'连通。在光阻注入管112'与狭缝10'相接处，设有空腔110'，设在第一喷嘴分体11'中部的排泡管113'也与该空腔110'连通。

再请参照图3所示，为光阻涂布时狭缝10'区域光阻流动状况示意图。光阻流动方向如图中箭头所示。当进行涂布时，来自光阻注入泵（Pump）的光阻通过光阻注入管112'注入，在涂布开始阶段，光阻注入泵处于加速状态，光阻流速受泵力作用也处于加速状态，在光阻注入管112'附近压力较大，光阻向两侧流动，光阻充满整个光阻注入区，光阻注入区呈锥形分布。光阻渗透区位于狭缝10'底部，光阻通过光阻吐出口100'吐出，涂布到基板上。

上述光阻涂布装置及方式的缺陷在于，由于在中部注入光阻，在光阻注入管112'附近压力较大，经过光阻渗透区吐出（例如从图1、图3所示C处周围吐出）的光阻量相对较大，而两侧由于压差关系，压力较小，经过光阻渗透区吐出（例如从图1、图3所示A、B处周围吐出）的光阻量相对较小，造成的后果就是，使涂布到基板上的光阻均匀度较差，降低了涂布品质。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种提高光阻涂布均匀度和品质的光阻涂布装置及其涂布方法。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种光阻涂布装置，包括：喷嘴，所述喷嘴包括相对设置的第一喷嘴分体、第二喷嘴分体以及将所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体安装固定的顶板，所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体之间形成狭缝，在所述第一喷嘴分体的操作面的中部设有第一光阻注入管，所述第一光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通，在所述第一喷嘴分体的操作面上还设有两个第二光阻注入管，分别位于所述第一光阻注入管的两侧，所述第二光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通。

其中，所述第二光阻注入管的口径小于所述第一光阻注入管。

其中，所述第二光阻注入管上设有控制阀，用于控制所述第二光阻注入管内光阻的流量。

其中，所述第一光阻注入管和第二光阻注入管均连接到光阻注入泵上。

其中，所述第一光阻注入管和第二光阻注入管的上方均分别设有用于排出气泡的排泡管。

其中，在所述第一光阻注入管与所述狭缝连通处，设有第一空腔，设在所述第一光阻注入管上方的排泡管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述第一空腔连通。

其中，在所述第二光阻注入管与所述狭缝连通处，设有第二空腔，设在所述第二光阻注入管上方的排泡管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述第二空腔连通。

本发明还提供一种光阻涂布装置的涂布方法，所述光阻涂布装置包括喷嘴，所述喷嘴包括相对设置的第一喷嘴分体、第二喷嘴分体以及将所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体安装固定的顶板，所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体之间形成狭缝，在所述第一喷嘴分体的操作面的中部设有第一光阻注入管，所述第一光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通；在所述第一喷嘴分体的操作面上还设有两个第二光阻注入管，分别位于所述第一光阻注入管的两侧，所述第二光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通；所述第一光阻注入管和第二光阻注入管均连接到光阻注入泵上；所述第二光阻注入管上设有控制阀，用于控制所述第二光阻注入管内光阻的流量；所述涂布方法包括：

在光阻注入泵的加速阶段，同时通过所述第一光阻注入管和第二光阻注入管注入光阻；

在光阻注入泵的稳定阶段，逐渐闭合所述第二光阻注入管上的控制阀直至所述控制阀完全关闭；

在光阻注入泵的减速阶段，关闭所述控制阀。