[发明专利]蝶阀和检查蝶阀中泄漏的方法

说明书

相关专利申请的交叉引用

本申请要求于2012年12月5日递交到韩国知识产权局的韩国专利申请第10-2012-0140514号的权益，其公开内容通过引用全部合并于此。

技术领域

描述的技术大体上涉及蝶阀。

背景技术

通常，半导体、液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）显示器等的制造工艺是通过重复执行诸如生长、蚀刻、扩散、化学蒸发沉积和金属沉积等各种子工艺而实现的。每个子工艺根据设计需要半导体专用环境条件，并且它们中的很多在真空中执行。

发明内容

一个创造性方面是用于单独检查泄漏的一种蝶阀。

另一方面是一种蝶阀，包括：管形壳体；能够旋转地设置在所述管形壳体内的阀盘；沿所述阀盘的外周界形成的空间形成构件；和泄漏检查端口，提供在所述管形壳体中并且通向所述空间形成构件和所述管形壳体之间的空间。

所述空间形成构件可包括两个或多个O形环。所述空间形成构件可包括第一O形环和第二O形环。所述蝶阀可进一步包括通过与所述泄漏检查端口联接而封闭所述泄漏检查端口的密封构件。

所述蝶阀可进一步包括连接到所述泄漏检查端口的泄漏检测器。所述泄漏检测器可包括氦泄漏检测器。所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行。

第一槽和第二槽可沿所述阀盘的外周界形成，所述第一O形环可被插入到所述第一槽中，并且所述第二O形环可被插入到所述第二槽中。所述第一槽和所述第二槽可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行，并且所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行。

在所述第一O形环和所述第二O形环与所述管形壳体紧密接触的状态下，所述泄漏检查端口可通向由所述第一O形环、所述第二O形环、所述阀盘和所述管形壳体形成的空间。

另一方面为一种用于检查蝶阀中的泄漏的方法，所述蝶阀包括管形壳体和能够旋转地设置在所述管形壳体内的阀盘，所述方法包括：提供沿所述阀盘的外周界形成的空间形成构件；在所述管形壳体中提供泄漏检查端口使得所述泄漏检查端口通向所述空间形成构件和所述管形壳体之间的空间；通过旋转所述阀盘关闭所述蝶阀；将所述泄漏检查端口的一端连接到所述泄漏检测器；使用所述泄漏检测器在所述空间形成构件与所述管形壳体之间的空间内建立真空；向所述空间形成构件喷射测试气体；和通过使用所述泄漏检测器检测所述测试气体。

所述空间形成构件可包括两个或多个O形环。所述空间形成构件可包括第一O形环和第二O形环。所述泄漏检查端口的所述一端可通过管道被连接到所述泄漏检测器。所述方法可进一步包括在将所述泄漏检测器从所述泄漏检查端口分离之后封闭所述泄漏检查端口。

所述泄漏检测器可为氦泄漏检测器，喷射的所述测试气体为氦气，并且所述氦气被所述氦泄漏检测器检测。所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此平行。第一槽和第二槽可沿所述阀盘的外周界形成，所述第一O形环可被插入到所述第一槽中，并且所述第二O形环可被插入到所述第二槽中。

所述第一槽和所述第二槽可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行，并且所述第一O形环和所述第二O形环可沿所述阀盘的外周界被形成为彼此基本平行。在所述第一O形环和所述第二O形环与所述管形壳体紧密接触的状态下，所述泄漏检查端口可通向由所述第一O形环、所述第二O形环、所述阀盘和所述管形壳体形成的空间。

附图说明

图1为示意性例示出根据示例性实施例的处于关闭状态的蝶阀的主视图。

图2为示意性例示出根据示例性实施例的处于打开状态的蝶阀的主视图。

图3为示意性例示出沿图1中的III-III截取的截面的剖视图。

图4为示意性例示出图3中例示的蝶阀的一部分的放大的剖视图。

图5为示意性例示出根据另一示例性实施例的蝶阀的一部分的放大的剖视图。

图6为示意性例示出根据又一示例性实施例的蝶阀的一部分的放大的剖视图。

图7为例示出根据示例性实施例的检查蝶阀中的泄漏的方法的流程图。

具体实施方式

通常，真空管线被连接到工艺室，并且制造工艺在工艺室中被执行，同时工艺室处于真空状态下。工艺室被连接到外部排放泵。进一步，连接到泵的用于保持真空状态并且去除颗粒的蝶阀安装在每个室中，从而打开/关闭在真空状态下的工艺室的密封件。