[发明专利]切割机冷却喷水装置

说明书

技术领域

本发明涉及冷却喷水装置，具体涉及一种切割机冷却喷水装置。

背景技术

切割机是一种半导体后封装关键设备，其作用是将器件分割成单个的电路单元。切割机的工作机理是砂轮刀片的强力磨削，在切割过程中砂轮刀片与被加工器件会产生大量的热，然而过高的温度会严重影响划切质量，并大大缩短刀具的使用寿命。为了控制划切加工时的温度，需要对工作区间用冷却水进行冷却。

在切割过程中，由于半导体材料大多比较脆硬，需要根据不同切割工艺进行不同方式的冷却水调节，传统设备的冷却喷水装置虽有引流的作用，但由于切割机使用环境及高速运动特点的要求，不能准确地引流至有效冷却区域，导致冷却不当对器件或材料划切时产生的热量无法及时消除，切割机刀片会异常磨损，被切割材料表面会产生较大的甭边或裂纹，生产成品率大大降低，造成较严重的经济损失。因此刀片的冷却喷水装置对于切割机来说具有非常重要的意义。

发明内容

本发明的目的在于提供一种切割机冷却喷水装置，其可以有效地降低切割时刀片与被切割材料产生的量热，也可将切割产生的切屑通过水流冲击迅速清理掉，降低切割刀片的磨损并提高器件或材料的表面划切质量。

为实现上述目的，本发明的技术方案是设计一种切割机冷却喷水装置，包括固定架、第一喷杆、第二喷杆和第三喷杆；

固定架固定有可上下平动的高度调整块，高度调整块固定有第一固定块和第二固定块；第一固定块与第一喷杆螺纹连接，第二固定块与第二喷杆螺纹连接；第一固定块内设有第一空腔，第二固定块内设有第二空腔，第一空腔与第二空腔密闭连通；第一喷杆与第一空腔密闭连通，第二喷杆与第二空腔密闭连通；第一固定块上还设有与第一空腔密闭连通的第一快插接头；第一喷杆通过第一空腔而与第一快插接头贯通；第二喷杆依次通过第二空腔、第一空腔而与第一快插接头贯通；

固定架还通过锁紧螺钉连接有连杆，连杆在其远离锁紧螺钉的端部固定有旋杆，旋杆水平设置，旋杆沿其轴向套有套筒，套筒的一端密闭并与旋杆转动连接，套筒可以旋杆为轴心旋转，套筒的另一端与连杆密闭连接；套筒的外壁设有可随套筒旋转而在一竖直平面内转动的第三喷杆；

旋杆与第一喷杆垂直，第一喷杆与第二喷杆平置、相互平行且以第三喷杆为对称设置；第一喷杆其远离第一固定块的端部密闭，第二喷杆其远离第二固定块的端部密闭；第一喷杆与第二喷杆各自沿轴向设有若干喷口；

固定架内设有第三空腔，固定架上还设有与第三空腔密闭连通的第二快插接头；锁紧螺钉内设有贯通孔，连杆内设有第四空腔，旋杆与套筒间存在第五空腔；贯通孔两端分别与第三空腔和第四空腔密闭连通；第四空腔还与第五空腔密闭连通；第三喷杆依次通过第五空腔、第四空腔、贯通孔、第三空腔而与第二快插接头贯通；第三喷杆在其远离套筒的端面设有喷口。

优选的，所述第一快插接头连接有第一输液管，第二快插接头连接有第二输液管；第一、第二输液管上都设有两通阀与流量计。

优选的，所述第一固定块与第一喷杆间设有锁紧螺母，第一固定块与第一喷杆通过锁紧螺母紧固；第二固定块与第二喷杆间设有锁紧螺母，第二固定块与第二喷杆通过锁紧螺母紧固。

优选的，所述高度调整块通过锁紧轮与第一、第二固定块紧固。

优选的，所述高度调整块设有竖置的长槽孔。

优选的，所述第一喷杆其远离第一固定块的端部通过紧定螺钉密闭，第一喷杆与紧定螺钉间设有防水密封胶；第二喷杆其远离第二固定块的端部通过紧定螺钉密闭，第二喷杆与紧定螺钉间设有防水密封胶。

优选的，所述连杆与固定架之间设有密封垫圈，连杆与锁紧螺钉间都设有密封垫圈。

优选的，所述连杆与旋杆为过盈配合。

优选的，所述连杆与旋杆间设有密封圈。

优选的，所述第一喷杆、第二喷杆上的喷口相互对应。

本切割机冷却喷水装置固定于切割机主轴上，位于待切割工件上方。

工作时，冷却液(如水)依次通过第一输液管、第一快插接头、第一空腔到达第一喷杆，并从第一喷杆的喷口喷出；冷却液(如水)依次通过第一输液管、第一快插接头、第一空腔、第二空腔而到达第二喷杆，并从第二喷杆的喷口喷出；冷却液(如水)依次通过第二输液管、第二快插接头、第三空腔、贯通孔、第四空腔、第五空腔而到达第三喷杆，并从第三喷杆的喷口喷出。

本发明可通过液用两通阀和流量计对液流的开合和大小进行控制。