[发明专利]分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，它主要包括激光位移传感器、电涡流传感器和角度传感器，其特征是在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器，激光位移传感器设置在第一电涡流传感器和第二电涡流传感器中间位置，第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上，且第一电涡流传感器、第二电涡流传感器与激光位移传感器所在的圆周与被测回转体同轴，角度传感器与第二电涡流传感器在轴向上紧靠布置。角度传感器、第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器均与控制模块连接，控制模块将信号输出给采集模块，采集模块再与上机位连接。

2.根据权利要求1所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是在与激光位移传感器同一轴向位置设有霍尔传感器，在与霍尔传感器对应位置的被测回转体上设有能被霍尔传感器识别的标记磁体。

3.根据权利要求1或2所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是上述所有的传感器均安装在可沿径向移动和与在测量截面偏转摆动的调节装置上，调节装置设置在测量支架上，调节装置由精密位移台和角位移台组成。

4.根据权利要求1或2所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是在上述所以传感器的侧边均连接有阻止传感器接触被测回转体表面的保护装置。

5.根据权利要求4所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是保护装置为凸起圆形件，并连接在传感器外壳上。

6.根据权利要求5所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是所述的第二电涡流传感器用第二激光位移传感器替代。

7.根据权利要求5所述的分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，其特征是所述的激光位移传感器用压敏位移传感器替代。

8.一种分离主轴回转误差的电跳动在位测量方法，其特征是：测量前，被测回转体停转，安装测量支架，开启设备，通过调节装置使各个传感器处于合适位置；测量时，被测回转体旋转，转速固定不变，在测量软件中设置测量参数，启动传感器开始进行测量及数据采集，激光位移传感器、第一电涡流传感器、第二电涡流传感器、角度传感器采集的模拟信号，经过采集卡进行A/D转换，最后成为数字信号传入上位机，霍尔传感器采集的脉冲信号传送至PLC进行计数处理并传送至上位机，计算机对传输进来的数据进行分析处理，分离机床主轴回转误差，得到电跳动和机械跳动的跳动误差测量结果，最后输出测量处理结果。