[发明专利]一种高精度微位移主被动复合压电隔振杆

权利要求书

1.一种高精度微位移主被动复合压电隔振杆，其特征在于：包括壳体（11），固定在壳体（11）一端的端盖（1），固定在壳体（11）内、和端盖（1）依次连接的压电薄膜（2）、压电堆（3）、质量块（7）、传力杆（9）以及预压装置（12），所述质量块（7）和压电堆（3）接触的一端开有半圆形槽用来放置球形传力接头（4），使压电堆（3）和质量块（7）通过球形传力接头（4）连接，所述质量块（7）的另一端开有盲孔，传力杆（9）受力时插入盲孔中与质量块（7）相对运动，两条导轨（6）平行的固定在壳体（11）上下内壁面，四个滑块（5）对称的分布在两条导轨上，并分别置于质量块（7）和传力杆（9）的上下，将固定质量块（7）和传力杆（9）固定在壳体（11）内，组合碟簧一（8）将质量块（7）和传力杆（9）弹性连接起来，组合碟簧二（10）将传力杆（9）和预压装置（12）弹性连接起来，所述预压装置（12）和壳体（11）通过螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度微位移主被动复合压电隔振杆，其特征在于：所述质量块（7）为空心结构，在中间空心处用螺栓于两边和滑块（5）连接起来。

3.根据权利要求1所述的一种高精度微位移主被动复合压电隔振杆，其特征在于：所述传力杆（9）中间部分为空心结构，在中间空心处用螺栓于两边和滑块（5）连接起来。

4.根据权利要求1所述的一种高精度微位移主被动复合压电隔振杆，其特征在于：所述端盖（1）、壳体（11）、质量块（7）、传力杆（9）和预压装置（12）采用硬铝合金材料。

5.根据权利要求1所述的一种高精度微位移主被动复合压电隔振杆，其特征在于：所述导轨（6）为滚珠直线导轨。

6.根据权利要求1所述的一种高精度微位移主被动复合压电隔振杆，其特征在于：所述组合碟簧一（8）和组合碟簧二（10）采用碟簧组合而成。

7.一种六自由度的超静平台，其特征在于：包括权利要求1至6任一项所述的高精度微位移主被动复合压电隔振杆，所述高精度微位移主被动复合压电隔振杆固定在上平台（13）和下平台（14）间。