[发明专利]一种低羟基大直径大长度石英砣的制备方法无效

专利信息
申请号: 201310150894.8 申请日: 2013-04-14
公开(公告)号: CN103224319A 公开(公告)日: 2013-07-31
发明(设计)人: 李文彦;谷巨明;孙丽丽;张锦;王春玲;刘晓光;秦卫光;刘旭阳 申请(专利权)人: 久智光电子材料科技有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00;C03B37/018
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 刘萍
地址: 065001 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 羟基 直径 长度 石英 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种低羟基大直径大长度石英砣的制备方法,包括如下步骤:

(1)采用等离子体立式固相外沉积方式制砣,即采用等离子体焰炬产生的火焰作为熔制石英玻璃的热源,等离子体焰炬水平固定在立式制砣机装置的侧面,与轴线成90°角,等离子体焰炬设置一个或多个,熔制过程中保持不动或在竖直轴方向向上或向下作平移运动,平移速度为3.0—80.0mm/min,熔制温度即石英砣表面的温度为1800℃~2500℃;

(2)石英砂通过位于等离子体焰炬上端口的下料管或由等离子体装置中心气流送入,在侧面等离子体火焰的加热下喷射在中心基础管或基础棒的外圆上,使石英砂熔化为玻璃体并不断沉积;

(3)随着等离子火焰和中心基础管或基础棒之一的相对运动,石英砂在中心基础管或基础棒的外圆上逐层沉积熔化形成中空石英毛砣或实心石英毛砣。

2.如权利要求1所述的低羟基大直径大长度石英砣的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的等离子体焰炬与石英砣面距离为50-100mm,熔制时间为35h-150h。

3.如权利要求1所述的低羟基大直径大长度石英砣的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)和(3)中的中心基础管或基础棒竖直固定于玻璃车床上,中心基础管或基础棒的运动方式为:在竖直轴方向向上或向下平移的同时并进行旋转,平移速度3.0—80.0mm/min,旋转速度为5-20转/分;或者中心基础管或基础棒之一只作旋转运动,由等离子体焰炬在竖直轴方向向上或向下平移产生相对运动,从而实现石英砂在整个中心基础管或基础棒轴向上的沉积。

4.如权利要求1所述的低羟基大直径大长度石英砣的制备方法,其特征在于,石英砂下料量为0.5—5kg/h。

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