[发明专利]一种蓝宝石单晶炉上部保温结构有效
申请号: | 201310151068.5 | 申请日: | 2013-04-27 |
公开(公告)号: | CN103233270A | 公开(公告)日: | 2013-08-07 |
发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;丁广博 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/14 |
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地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 上部 保温 结构 | ||
1.一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于该结构由上至下依次为圆形支撑结构、氧化锆保温层和钼隔热屏,固定支撑结构为单层圆形不锈钢板,钼隔热屏由多层钼片组成,氧化锆保温层由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆砖组接而成,钼片上开有圆形中心孔和矩形观察孔,圆形支撑结构、氧化锆保温层和钼隔热屏之间采用钼螺栓和钼螺母连接固定。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于所述的单层圆形不锈钢板厚度为5~20mm,外径400~600mm,内径180~280mm,沿单层圆形不锈钢板上直径为200~300mm圆周上均匀分布有4~10个钼螺栓,钼螺栓直径4~6mm,长度为150~400mm。
3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于所述的氧化锆保温层为圆环形,外径300~500mm,内径90~250mm,厚度10~30mm。
4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于所述的氧化锆保温层为由2~8块扇形氧化锆纤维砖拼接组成的圆环形块体。
5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于所述的氧化锆保温层中相邻氧化锆纤维砖间由1~4组相配合的半圆形定位凹槽与定位突起固定,定位凹槽与定位突起半圆半径5~10mm。
6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于所述的氧化锆保温层上对应单层圆形不锈钢板与钼片连接钼螺栓的位置设置有圆形通孔,圆形通孔直径较钼螺栓直径大1~5mm。
7.根据权利要求6所述的一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于所述的钼片为圆形,共5~15层,外径300~500mm,厚度0.5~4mm,间距5~12mm。
8.根据权利要求7所述的一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于所述的钼片上开有圆形中心孔和2个矩形观察孔,最上层钼片圆形中心孔直径30~100mm,从上到下每层钼片中心孔直径比上一层大1~5mm,2个矩形观察孔互相成90°夹角,位于圆形中心孔边缘,最上层矩形观察孔长度50~150mm,宽度30~60mm,从上到下每层钼片矩形观察孔长度和宽度分别比上一层大1~5mm。
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