[发明专利]一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法

权利要求书

1.一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，其特征在于所述方法采用如下系统进行测量：该系统包括Ⅰ号二维位置敏感传感器、Ⅰ号激光头、Ⅱ号二维位置敏感传感器、Ⅱ号激光头、Ⅰ号绝对直线光栅、Ⅱ号绝对直线光栅及信号处理系统；

将所述Ⅰ号绝对直线光栅沿x向安装在L型线缆台上，L型线缆台在直线电机驱动下沿基台y向跟随平面电机动子运动；Ⅰ号绝对直线光栅读数头安装在L型线缆台的x向导轨上，并通过一柔性机构与平面电机动子连接，该柔性机构允许Ⅰ号绝对直线光栅读数头与平面电机动子在y向和θ_z向有微小的相对位移；

将所述Ⅱ号绝对直线光栅沿y向安装在基台上，Ⅱ号绝对直线光栅读数头安装在直线电机动子上；

将所述Ⅰ号二维位置敏感传感器和Ⅱ号二维位置敏感传感器安装在平板同一水平直线上，平板与平面电机动子的一侧固连；所述Ⅰ号激光头和Ⅱ号激光头通过悬臂安装在Ⅰ号绝对直线光栅读数头上；

所述方法包括如下步骤：

1）分别建立3个直角坐标系：平面电机动子坐标系O₁-x₁y₁z₁、线缆台坐标系O₀-x₀y₀z₀和基台坐标系O-xyz，平面电机动子坐标系原点位于平面电机动子的几何中心，在初始位置时，3个坐标系的原点重合；

2）标记激光入射光点在二维位置敏感传感器的中心时，二维位置敏感传感器的读数（x_p,y_p）；令Ⅰ号绝对直线光栅的读数沿线缆台坐标系x₀轴正方向逐渐减小，标记Ⅰ号绝对直线光栅读数头在线缆台坐标系下x₀=0处的读数x_ref；令Ⅱ号绝对直线光栅的读数沿基台坐标系y轴正方向逐渐减小，标记Ⅱ号绝对直线光栅读数头在基台坐标系下y=0处的读数y_ref；

3）Ⅰ号绝对直线光栅测量Ⅰ号绝对直线光栅读数头在线缆台坐标系下的x向位移，2个二维位置敏感传感器测量Ⅰ号绝对直线光栅读数头在x向及y向相对于平面电机动子的跟随误差；当平面电机动子运动过程中，在每个伺服周期，设Ⅰ号二维位置敏感传感器的读数为（x₁,y₁），Ⅱ号二维位置敏感传感器的读数为（x₂,y₂），Ⅰ号绝对直线光栅的读数为x₃，则平面电机动子在线缆台坐标系下的三自由度位移（x₀,y₀,θ₀）为：

x0=xref-x3-dc+(f-b)(y2-y1)+ax2-(a+c)x1+cxpx2-x1+cy0=1c((a+c)x1-cxp-ax2-by1+by2)2+((a+c)y1-cyp-ay2+bx1-bx2)2θ0=y1-y2c]]>

其中，（a，b）为Ⅰ号二维位置敏感传感器中心在平面电机动子坐标系下的平面坐标，c为Ⅰ号二维位置敏感传感器中心与Ⅱ号二维位置敏感传感器中心的水平距离，d为Ⅰ号绝对直线光栅读数头到平面电机动子坐标系y₁轴的距离，f为Ⅰ号绝对直线光栅读数头到线缆台坐标系x₀轴的距离；

4）Ⅱ号绝对直线光栅测量L型线缆台在基台坐标系下的y向位移，在与步骤3）相同的伺服周期，设Ⅱ号绝对直线光栅的读数为y₄，则平面电机动子在线缆台坐标系下的三自由度位移（x₀,y₀,θ₀）与在基台坐标系下的三自由度位移（x,y,θ）满足下式：

x=x0y=y0+yref-y4θ=θ0]]>

故平面电机动子在基台坐标系下的三自由度位移（x,y,θ）为：

x=xref-x3-dc+(f-b)(y2-y1)+ax2-(a+c)x1+cxpx2-x1+cy=yref-y4+1c((a+c)x1-cxp-ax2-by1+by2)2+((a+c)y1-cyp-ay2+bx1-bx2)2θ=y1-y2c.]]>

2.根据权利要求1所述的动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，其特征在于：设平面电机动子任意线圈中心在平面电机动子坐标系下的平面坐标为（l₁,l₂），根据平面电机动子在基台坐标系下的三自由度位移（x,y,θ），求得该线圈中心在基台坐标系下的平面坐标为（x_c,y_c）：

xc=l1c(x2-x1)+l2c(y2-y1)+x+l1yc=l2c(x2-x1)-l1c(y2-y1)+y+l2.]]>