[发明专利]一种蓝宝石单晶炉保温结构

权利要求书

1.一种蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于它包括炉盖下氧化锆纤维砖保温结构、上隔热屏氧化锆纤维砖结构、侧隔热屏氧化锆纤维砖结构和下隔热屏氧化锆纤维砖结构，炉盖下氧化锆纤维砖保温结构包括设置于大炉盖下的氧化锆纤维砖圆环保温层；上隔热屏氧化锆纤维砖结构包括圆形支撑结构与上部钼隔热屏，上部钼隔热屏由多层钼片组成，在圆形支撑结构与钼片之间有与钼片直径相同的第一氧化锆保温层，第一氧化锆保温层为扇形氧化锆纤维砖拼接成的圆环形块体；侧隔热屏氧化锆纤维砖结构包括多层不同直径的氧化锆保温桶，每层氧化锆保温桶在高度方向上由多层氧化锆纤维砖环瓣拼接的圆环组成；下隔热屏氧化锆纤维砖结构包括第二氧化锆保温层和下部钼隔热屏，下部钼隔热屏由多层钼片组成，第二氧化锆保温层与钼片间设置有分隔用的氧化锆陶瓷环，第二氧化锆保温层由氧化锆纤维砖组成，第二氧化锆保温层和钼片中心设置有圆形通孔，氧化锆陶瓷环由氧化锆纤维砖组接而成。

2.根据权利要求1所述一种蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的氧化锆纤维砖圆环保温层外径小于大炉盖，内径大于小炉盖内壁5~30mm，氧化锆纤维砖圆环保温层由2~4块氧化锆纤维砖拼接而成，用4~12组螺杆固定在大炉盖内圆和外圆下方。

3.根据权利要求2所述一种蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的第一氧化锆保温层为由2~8块扇形氧化锆纤维砖拼接圆环形块体，圆形支撑结构为圆形不锈钢板，圆形不锈钢板、第一氧化锆保温层和多层钼片通过钼螺栓和钼螺母连接并固定在一起，钼片为圆形，共5~15层。

4.根据权利要求3所述一种蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的侧隔热屏氧化锆纤维砖结构由2~5层氧化锆保温桶组成，氧化锆保温桶从上至下由2~10层氧化锆纤维砖拼接的圆环组接而成，每层圆环由2~8瓣氧化锆纤维砖环瓣拼接而成。

5.根据权利要求4所述一种蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的第二氧化锆保温层为由2~8块扇形氧化锆纤维砖拼接圆形块体，第二氧化锆保温层与钼片间用2~6个氧化锆陶瓷环分隔，氧化锆陶瓷环由2~8个氧化锆纤维砖环瓣组成，第二氧化锆保温层和钼片中心设置有比坩埚支撑棒直径大0.5~2mm的圆形通孔，外径比侧隔热屏氧化锆纤维砖结构最内层直径小0.5~2mm，下部钼隔热屏由5~15层圆形钼片组成。

6.根据权利要求5所述一种蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于所述的氧化锆纤维砖间均设置有1~4组相配合的半圆形定位凹槽与定位突起，定位凹槽与定位突起半径5~10mm。