[发明专利]一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法无效
| 申请号： | 201310152515.9 | 申请日： | 2013-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN103253851A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;刘先晖;黄超 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C03B19/00 | 分类号： | C03B19/00;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜贴片 选区 co sub 激光 辐照 制作 玻璃 透镜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）选择带有圆孔或圆孔阵列的铜镍合金模板，清洗后紧挨着放在玻璃片上，然后置于CO2激光下方；
（2）利用CO2激光离焦30-50mm辐照铜镍合金模板，根据加工要求辐照10-60s,功率40-50W；
（3）停止辐照，吹惰性气体冷却5-10s；
（4）分开玻璃与模板，完成加工。
2.按照权利要求1的方法，其特征在于，铜镍合金模板孔的直径在0.1-2㎜之间。
3.按照权利要求1的方法，其特征在于，所用的设备包括计算机、激光器、计算机与激光器连接的数据线、激光运动控制系统、工作台、铜镍合金模板。
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