[发明专利]多晶硅片的制绒剂及利用该制绒剂的制绒方法

权利要求书

1.一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：

硝酸    40%～55%；

氢氟酸  8%～12%；

添加剂  0.1%～0.5%；

水      32.5%～51.9%；

前述的添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：

阴离子表面活性剂  10%～15%；

亚硝酸盐  5%～10%；

水      75%～85%。

2.根据权利要求1所述的多晶硅片的制绒剂，其特征在于所述的阴离子表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、月桂醇硫酸钠或硬脂酸中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的多晶硅片的制绒剂，其特征在于所述的亚硝酸盐为亚硝酸钠或亚硝酸钾。

4.根据权利要求1所述的多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：

硝酸    45%；

氢氟酸  10%；

添加剂  0.1%～0.5%；

水      44.5%～44.9%；

前述的添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：

阴离子表面活性剂  10%～15%；

亚硝酸盐  5%～10%；

水      75%～85%。

5.一种利用权利要求1～4中任一一种制绒剂的制绒方法，其特征在于包括如下步骤：

a、在多晶制绒硝酸和氢氟酸混合液中，加入添加剂，循环30分钟使得添加剂和混合液充分混合后投入生产，减重控制在0.36g～0.40g，要求表面无明显绒丝；

b、扩散，指定绒面一侧作为扩散面，要求背靠背扩散，薄层电阻在15～80Ω/□之间，颜色呈咖啡色，且颜色均匀；表面清洁，无染色；

c、湿法刻蚀，控制边缘电阻在30kΩ以上；

d、减反射膜，在扩散面上沉积SiNx薄膜，厚度控制在75～85nm，颜色分布均匀为蓝色；

e丝印烧结，用丝网印刷机先在背面印银铝电极烘干，再印铝浆烘干，最后在SiNx薄膜上印银电极烘干烧结。