[发明专利]一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法有效
| 申请号： | 201310156290.4 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103230901A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 梁迎春;曹永智;卢礼华;于福利;张庆春 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 保持 激光 传输 光学系统 洁净 装置 方法 | ||
1.一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置，其特征在于：保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置包括进气系统和排气罩系统（1-4），进气系统包括上节流板（1-1）和下节流板（1-2），上节流板（1-1）的底面上设置有第一进气口（2-1），上节流板（1-1）的顶面上密布有多个第一冲扫气口（2-2），第一进气口（2-1）与第一冲扫气口（2-2）连通，下节流板（1-2）的底面上设置有第二进气口（3-1），下节流板（1-2）的顶面上密布有多个第二冲扫气口（3-2），第二进气口（3-1）与第二冲扫气口（3-2）连通，上节流板（1-1）和下节流板（1-2）上下阶梯式布置，下节流板（1-2）设置在透镜系统（1-3）的正下方，排气罩系统（1-4）包括排气罩（4-1）和排气口（4-2），排气口（4-2）设置在排气罩（4-1）的顶面上，排气罩系统（1-4）设置在光学系统（1-5）上端，上节流板（1-1）设置在光学系统（1-5）内，且位于透镜系统（1-3）的一侧，下节流板（1-2）设置在光学系统（1-5）下端。
2.根据权利要求1所述一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置，其特征在于：第一进气口（2-1）、第一冲扫气口（2-2）、第二进气口（3-1）、第二冲扫气口（3-2）的直径均为2mm。
3.根据权利要求1或2所述一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置，其特征在于：排气口（4-2）的直径为1mm至2mm。
4.一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫方法，其特征在于：保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫方法的具体步骤为：洁净气体由上节流板（1-1）和下节流板（1-2）按照特定进气流量进入光学系统内部，气体经过透镜系统（1-3）时对透镜表面及附近空间实现冲扫效果，使污染物随冲扫气体经排气罩系统（1-4）排出光学系统内部。
5.根据权利要求4所述一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫方法，其特征在于：洁净气体的洁净度为百级。
6.根据权利要求5所述一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫方法，其特征在于：进气流量为200L/min。
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