[发明专利]调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法及系统

权利要求书

1.一种调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法，其特征在于，包括：获得具有停留时间限制的当前工艺阶段，获得当前工艺阶段的规定停留时间、产能、当前等待生产的产品数目；

基于所述当前工艺阶段的规定停留时间、产能、当前等待生产的产品数目，获得当前工艺阶段的最大停留时间；

若所述最大停留时间大于规定停留时间，则减小前一工艺阶段的产能，反之，预计增大前一工艺阶段的产能之后的当前工艺阶段的预计最大停留时间，若所述预计最大停留时间小于等于规定停留时间，则增大前一工艺阶段产能，反之，则维持前一工艺阶段的产能。

2.如权利要求1所述的调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法，其特征在于，所述当前工艺阶段为铜金属层工艺阶段，所述前一工艺阶段为铜阻挡层工艺阶段。

3.如权利要求1所述的调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法，其特征在于，所述当前工艺阶段为铜化学机械研磨工艺阶段，所述前一工艺阶段为铜金属层工艺阶段。

4.如权利要求1所述的调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法，其特征在于，所述当前工艺阶段为化学气相沉积工艺阶段，所述前一工艺阶段为铜化学机械研磨工艺阶段。

5.一种调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的系统，其特征在于，包括：当前工艺阶段的最大停留时间分析子系统，用于获得当前工艺阶段的规定停留时间、产能、当前等待生产的产品数目，用于获得当前工艺阶段的最大停留时间；

自动产能监控分析子系统，基于所述最大停留时间与所述规定停留时间进行比较，当所述最大停留时间大于规定时间，则产生减小前一工艺阶段的产能的指令；当所述最大停留时间小于等于规定时间，则预计增大前一工艺阶段产能之后当前工艺阶段的预计最大停留时间，若所述最大预计停留时间小于等于规定停留时间，则产生增大前一工艺阶段产能的指令，反之，则产生维持前一工艺阶段的产能的指令；

产能调整子系统，用于基于所述自动产能监控分析子系统产生的指令对所述前一工艺阶段的产能进行调整。

6.如权利要求5所述的调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的系统，其特征在于，所述当前工艺阶段为铜金属层工艺阶段，所述前一工艺阶段为铜阻挡层工艺阶段。

7.如权利要求5所述的调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的系统，其特征在于，所述当前工艺阶段为铜化学机械研磨工艺阶段，所述前一工艺阶段为铜金属层工艺阶段。

8.如权利要求5所述的调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的系统，其特征在于，所述当前工艺阶段为化学气相沉积工艺阶段，所述前一工艺阶段为铜化学机械研磨工艺阶段。