[发明专利]通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法及结构

权利要求书

1.一种通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

通过三个定位传感器分别对应地收集光学平台Z方向上的不同时处于一直线上的三个位置的信号；

通过定位放大器转换Z方向的三个位置的信号分别为电信号；

通过控制板分析处理Z方向的三个电信号分别产生Z方向的补偿电量；

通过空气控制信号放大器转换Z方向的三个补偿电量分别产生Z方向的第一补偿量，通过电路控制信号放大器转换Z方向的三个补偿电量分别产生Z方向的第二补偿量；

接收同一Z方向的第一补偿量的空气吊架和第二补偿量的主动升降部件共同控制光学平台上对应的位置上升或下降，调整Z方向上的光学平台与底座之间的位置状态。

2.根据权利要求1所述的通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法，其特征在于：各所述Z方向的第一补偿量分别通过一空气产生器产生流入或流出对应的空气吊架的高压空气气体总量，以使对应的空气吊架上升或下降。

3.根据权利要求1所述的通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法，其特征在于：所述空气控制信号放大器与电路控制信号放大器集成在一放大箱中。

4.根据权利要求1所述的通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法，其特征在于：所述控制板集成在一控制柜中。

5.一种通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的结构，包括：

一底座；

一光学平台；

三个定位传感器，设置在底座上，所述三个定位传感器用以分别对应地收集光学平台Z方向上的不同时处于一直线上的三个位置的信号；

一定位放大器，设置在底座上，用以转换Z方向的三个位置的信号分别为电信号；

一控制板，用以分析处理Z方向的三个电信号分别产生Z方向的补偿电量；

一空气控制信号放大器，用以转换Z方向的三个补偿电量分别产生Z方向的第一补偿量；

一电路控制信号放大器，用以转换Z方向的三个补偿电量分别产生Z方向的第二补偿量；

三个不同时处于一直线上的空气吊架，分别设置在光学平台与底座之间，各所述空气吊架接收不同Z方向的第一补偿量控制光学平台上对应的位置上升或下降，缓慢调整Z方向上的光学平台与底座之间的位置状态；

三个不同时处于一直线上的主动升降部件，分别设置在底座上且靠近一对应的空气吊架，各所述主动升降部件接收不同Z方向的第二补偿量控制光学平台上对应的位置上升或下降，快速调整Z方向上的光学平台与底座之间的位置状态。

6.根据权利要求5所述的通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的结构，其特征在于，所述结构还包括三个空气产生器，各所述空气产生器设置在底座上且分别与一所述空气吊架连通，所述空气产生器用以根据接收到的不同Z方向的第一补偿量分别产生流入或流出对应的空气吊架的高压空气气体总量，以使对应的空气吊架上升或下降。

7.根据权利要求5所述的通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的结构，其特征在于：所述结构还包括一放大箱，所述放大箱至少包括所述空气控制信号放大器与电路控制信号放大器。

8.根据权利要求5所述的通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的结构，其特征在于：所述结构还包括一控制柜，所述控制柜中至少包括所述控制板。