[发明专利]一种三明治结构线栅宽带偏振器及其制备方法

权利要求书

1.一种三明治结构线栅宽带偏振器，由基板上的Al-SiO₂-Al三明治结构纳米线栅构成，其特征在于：所述基板为在通讯波段透明的光学材料；所述Al-SiO₂-Al三明治结构纳米线栅的结构参数为：线栅周期350-400纳米，线栅占空比60%-50%，线栅总厚度300-400纳米。

2.根据权利要求1所述的一种三明治结构线栅宽带偏振器，其特征在于，所述Al-SiO₂-Al三明治结构中，第一层金属铝的厚度为80-170nm，SiO₂的厚度为50-120nm，第二层金属铝的厚度为80-210nm。

3.根据权利要求1或2所述的一种三明治结构线栅宽带偏振器，其特征在于，所述基板为石英玻璃、氧化镁、氟化钙或氧化铝。

4.如权利要求1所述的一种三明治结构线栅宽带偏振器的制备方法，包括下述步骤：

（1）首先对基板进行清洗、干燥；

（2）在基板表面旋涂一层600-800nm的SU8胶并紫外光固化；

（3）在SU8胶上面旋涂一层60-70nm的含Si的紫外压印胶；

（4）采用纳米结构制备技术，在含Si的紫外压印胶表面形成纳米线栅结构；

（5）采用CHF₃反应离子刻蚀工艺刻蚀残余层，暴露纳米线栅结构下的SU8胶；

（6）以含Si的紫外压印胶为掩模，采用O₂反应离子刻蚀工艺刻蚀SU8胶至基板；

（7）用电子束蒸发设备先后沉积三层薄膜，分别为Al、SiO₂、Al，三层薄膜的总厚度为300-400纳米；

（8）最后在SU8去胶液中进行超声举离，在基板上形成Al-SiO₂-Al三明治结构纳米线栅，即得到三明治结构线栅宽带偏振器。

5.根据权利要求4所述的一种三明治结构线栅宽带偏振器的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）中，采用软模板纳米压印技术形成纳米线栅结构。