[发明专利]激光器放电腔的六自由度调节机构

权利要求书

1.一种激光器放电腔的六自由度调节机构，包括两个调节器，该两个调节器分别安装于激光器放电腔的底面上沿光轴方向的前后两端，且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置；

所述激光器放电腔的安装平面为XY平面，该XY平面的X轴方向为激光器放电腔的光轴方向，该XY平面的Y轴方向为垂直于X轴的方向，所述Z轴方向是垂直于该安装平面的方向；

所述两个调节器的万向轮装置共同调节所述激光器放电腔在XY平面内的平移和在Z轴的转动；

所述两个调节器的升降装置共同调节所述激光器放电腔在Z轴方向的高度和绕所述XY平面的X、Y轴的转动。

2.如权利要求1所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：所述万向轮装置包括万向轮支架和分别安装于万向轮支架两端的两个万向轮。

3.如权利要求2所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：所述万向轮支架的主体部分是一个扁长形机构，其长度方向平行于Y轴方向，该万向轮支架通过该主体部分与所述激光器放电腔固定连接。

4.如权利要求1所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：所述两个调节器的四个升降装置分别安装在所述激光器放电腔的四个底角位置，每个升降装置(5)包括用于固定连接并支承所述激光器放电腔的升降装置支架(5a)。

5.如权利要求4所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：所述升降装置(5)还包括导向头(7a)，所述导向头(7a)的上部为圆球形构件，所述升降装置支架(5a)的下部具有一个球窝结构，通过所述圆球形构件与球窝结构配合的方式连接所述导向头(7a)与所述升降装置支架(5a)。

6.如权利要求5所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：所述升降装置(5)还包括垂直导向器(8)、调整螺杆(9)、减震器(10)、锁紧螺母(11)；

所述导向头(7a)通过下部的螺纹孔与所述调整螺杆(9)连接，所述调整螺杆(9)上部为螺纹结构，通过调整该调整螺杆(9)与所述导向头(7a)的配合螺纹圈数，来实现对所述导向头(7a)的高度的调整；

所述垂直导向器(8)用于容纳所述调整螺杆(9)的下部，并与所述减震器(10)固连；

所述减震器(10)与所述激光器放电腔的一个安装平台(1)固连；

所述锁紧螺母(11)用于在调整完毕后对所述调整螺杆(9)的锁紧。

7.如权利要求4所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：

所述升降装置(5)还包括上部导向块(12b)与下部导向块(7b)，所述下部导向块(7b)与上部导向块(12b)通过销轴进行连接，使得所述下部导向块(7b)相对于所述上部导向块(12b)做绕Y轴的单方向旋转运动；

所述升降装置支架(5b)的下部通过销轴连接方式与所述上部导向块(12b)连接，使得上部导向块(12b)可以相对于所述升降装置支架(5a)做绕X轴的单方向旋转运动。

8.如权利要求7所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：

所述升降装置(5)还包括垂直导向器(8)、调整螺杆(9)、减震器(10)、锁紧螺母(11)；

所述下部导向块(7b)通过下部的螺纹孔与所述调整螺杆(9)连接，所述调整螺杆(9)上部为螺纹结构，通过调整该调整螺杆(9)与下部导向块(7b)的配合螺纹圈数，来实现对所述下部导向块(7b)的高度的调整；

所述垂直导向器(8)用于容纳所述调整螺杆(9)的下部，并与所述减震器(10)固连；

所述减震器(10)与所述激光器放电腔的一个安装平台(1)固连；

所述锁紧螺母(11)用于在调整完毕后对所述调整螺杆(9)的锁紧。

9.如权利要求5至8中任一项所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：

所述调整螺杆(9)的下部为光杆结构，其与所述垂直导向器(8)配合可在垂直方向自由滑动。

10.如权利要求5至8中任一项所述的激光器放电腔的六自由度调节机构，其特征在于：

所述调整螺杆(9)的下部为螺纹结构，所述垂直导向器(8)具有与所述调整螺杆(9)的下部的螺纹结构配合的螺纹圈。