[发明专利]衬底处理设备与加热设备

权利要求书

1.一种衬底处理设备，包括：

处理室，具有衬底处理空间；

加热外壳，具有发射辐射能的加热灯和反射从所述加热灯发射的辐射能的反射块；以及

窗口，维持所述处理室与所述加热外壳之间的密封且将所述辐射能透射到衬底。

2.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中所述加热外壳包括具有多个通孔的扩散板，所述扩散板设置在所述反射块之下，且其中由所述反射块反射的所述辐射能穿过所述通孔且传递到所述窗口。

3.一种衬底处理设备，包括：

处理室，具有衬底处理空间；

加热外壳，具有发射辐射能的加热灯和反射从所述加热灯发射的辐射能的反射块；以及

窗口扩散板，维持所述处理室与所述加热外壳之间的密封且具有多个通孔，所述辐射能穿过所述通孔。

4.根据权利要求2或3所述的衬底处理设备，其中所述通孔具有不同尺寸。

5.根据权利要求4所述的衬底处理设备，其中随着所述通孔远离所述加热灯，所述通孔具有较大尺寸。

6.根据权利要求4所述的衬底处理设备，其中所述通孔被分为各自具有相同尺寸的不同群组而形成在所述扩散板上。

7.根据权利要求1到3中任一所述的衬底处理设备，其中所述加热外壳包括安置在所述加热外壳的内侧壁与所述加热灯之间的绝热反射板，所述绝热反射板阻断来自所述加热灯的辐射能传递到所述加热外壳的所述内侧壁且反射所述辐射能。

8.根据权利要求7所述的衬底处理设备，其中所述反射块和所述绝热反射板的表面涂有金或经过抛光以提高反射性。

9.根据权利要求7所述的衬底处理设备，其中所述加热灯形成为具有灯丝的管状主体或弧光灯，且所述绝热反射板按照线性形状、弯曲形状和其组合中的任一者而形成，以阻断来自所述加热灯的辐射能传递到所述加热外壳的所述内侧壁。

10.根据权利要求1到3中任一所述的衬底处理设备，其中所述反射块在面向所述衬底的一侧具有倾斜表面，且所述加热灯经设置以使得辐射能传递到所述反射块的所述倾斜表面。

11.根据权利要求10所述的衬底处理设备，其中所述反射块的所述倾斜表面具有倾斜形状，以使得随着所述反射块远离所述加热灯，所述反射块的所述倾斜表面与待热处理的衬底之间的距离变窄。

12.根据权利要求1到3中任一所述的衬底处理设备，其中所述加热灯作为多个灯来设置，且所述绝热反射板针对每个加热灯而设置。

13.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中所述反射块划分为对每个加热灯指派的多个区域，且其中每个区域的倾斜表面具有倾斜形状，以使得随着所述区域远离每个加热灯，每个区域的所述倾斜表面与待热处理的衬底之间的距离变窄。

14.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中所述窗口扩散板包括：

上板，其中形成有上通孔；

下板，在面向所述上通孔的位置处形成有下通孔，且与所述上板间隔开；

单位窗口，安置在所述上板与所述下板之间，所述单位窗口针对每个通孔而设置，且透射所述辐射能；以及

冷却构件，在没有所述上通孔与所述下通孔的区域处设置在所述上板与所述下板之间。

15.根据权利要求14所述的衬底处理设备，其中所述单位窗口散射从所述加热外壳传递的辐射能，且将所述经散射的辐射能透射到所述衬底。

16.根据权利要求15所述的衬底处理设备，其中所述单位窗口在其表面上具有不平整性，以散射入射辐射能。

17.根据权利要求16所述的衬底处理设备，其中所述不平整性形成在所述单位窗口的上表面和下表面中的至少一者上。

18.根据权利要求17所述的衬底处理设备，其中在所述不平整性形成在所述单位窗口的上表面与下表面两者上时，在所述上表面上形成的不平整性的折射角不同于在所述下表面上形成的不平整性的折射角。

19.根据权利要求1到3中任一所述的衬底处理设备，包括高温计，配置在所述衬底的底部上，用于测量衬底温度。