[发明专利]电磁蒸镀装置在审
| 申请号： | 201310159305.2 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN104131251A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李嘉宸;黃添旺 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201506 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁 装置 | ||
1.一种电磁蒸镀装置，应用于一硬质基板的封装工艺中，所述电磁蒸镀装置包括金属遮罩和夹持框，其特征在于，还包括多个电磁铁单元和可编程控制设备；
所述多个电磁铁单元均固定设置在所述夹持框上，且所述可编程控制设备分别与每个电磁铁单元电连接，以控制每个电磁铁单元的磁极性及磁性强度。
2.根据权利要求1所述的电磁蒸镀装置，其特征在于，所述电磁蒸镀装置还包括一成膜材料的蒸发源，所述蒸发源设置于所述硬质基板的下方。
3.根据权利要求2所述的电磁蒸镀装置，其特征在于，所述夹持框固定设置于所述蒸发源的上方，且该夹持框吸附所述金属遮罩，以固定位于所述金属遮罩与所述磁性夹持框之间的所述硬质基板。
4.根据权利要求1所述的电磁蒸镀装置，其特征在于，所述可编程控制设备控制所述多个电磁铁单元的磁极性，以形成多个电磁区，且该多个电磁区形成阵列式矩阵回形结构。
5.根据权利要求4所述的电磁蒸镀装置，其特征在于，所述阵列式矩阵回形结构中相邻的两个电磁区的磁极性相反。
6.根据权利要求4所述的电磁蒸镀装置，其特征在于，每个所述电磁区上方设置均有磁力传感器。
7.根据权利要求6所述的电磁蒸镀装置，其特征在于，所述磁力传感器与所述可编程控制设备相连接，所述磁力传感器将各个所述电磁区的磁力强度传送至所述可编程控制设备。
8.根据权利要求7所述的电磁蒸镀装置，其特征在于，所述磁力传感器将各个所述电磁区的磁力强度转化为电流信号传送至所述可编程控制设备。
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