[发明专利]一种减小传播表面等离激元泄漏损耗的方法

权利要求书

1.一种减小传播表面等离激元泄漏损耗的方法，其特征在于，包括如下步骤：

在包括金属纳米波导及其衬底的表面等离激元波导上覆盖上介质层。

2.如权利要求1所述的一种减小传播表面等离激元泄漏损耗的方法，其特征在于：

所述介质层是对所述金属纳米波导和衬底整个进行覆盖。

3.如权利要求1所述的一种减小传播表面等离激元泄漏损耗的方法，其特征在于：

所述介质层是仅对金属纳米波导表面通过包裹的形式进行覆盖。

4.如权利要求1、2或3所述的一种减小传播表面等离激元泄漏损耗的方法，其特征在于：

所述金属纳米波导为金属纳米线、纳米带、纳米沟槽中的任意一种；其金属材料为金、银、铂、铜、铝中的任意一种、二种或多种。

5.如权利要求4所述的一种减小传播表面等离激元泄漏损耗的方法，其特征在于：所述衬底的材料为玻璃、二氧化硅、氟化镁、氧化铝等中的任意一种、二种或多种组成的复合材料。

6.如权利要求5所述的一种减小传播表面等离激元泄漏损耗的方法，其特征在于：所述介质层为二氧化硅、氧化铝、氧化铪、聚合物薄膜等材料中的一种、二种或多种；所述介质层可以通过原子层沉积、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积法、旋涂等方法来制备；所述介质层的厚度可以从原子层量级到微米量级。