[发明专利]一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法

权利要求书

1.一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，包括步骤S1压氦，其特征在于，应记录和保存预充氦比k值、预充氦密封的时间和各i次(i＝1～n)压氦压力P_E.i、压氦时长t_1.i和压氦结束的时间，其中第i次压氦时长t_1.i应不小于规定值；

对多次压氦法，第i(i＝2～n)次压氦的压氦时长t_1.i的规定值通过以下公式得到：

除非t_1.i-1很长，为方便操作，一般可取：

式(1.1)和(1.2)中，t_1.i-1为前一次压氦时间，P_E.i-1为前一次压氦压力；

对预充氦压氦法，第i(i＝1～n)次压氦的压氦时长t_1.i的规定值通过以下公式得到：

式(2)中，预充氦比k为被检件预充气体中氦气分压与标准大气压P₀的比值，t_3.0i为预充氦密封结束至第i次压氦结束的时间间隔。

2.根据权利要求1所述的多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，包括步骤S2去除吸附氦和步骤S3判定候检时长，其特征在于，对多次压氦法，从结束第n(n≥2)次压氦到实施漏率检测的最长候检时长t_2.n.max应不大于规定值，该规定值通过以下公式得到：

式(3)中，τ_Hemin为基本判据严密等级——合格被检件的可接收的氦气交换时间常数最小值，τ_He0为对应粗检漏最小可检漏率L₀的氦气交换时间常数：

其中，V为被检件内腔容积，M_He为氦气的克分子量，M_A为空气的平均克分子量；

式(3)中，P_He.1n.0和P_He.1n.m分别为经n次压氦后，初始为压氦的τ_He＝τ_He0和τ_He＝τ_Hemin被检件的内部氦分压：

式(3.1)和(3.2)中，t_2.in为第i次压氦结束至第n次压氦结束的时间间隔。

3.根据权利要求2所述的多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，包括步骤S2去除吸附氦和步骤S3判定候检时长，其特征在于，当首次压氦后的各次压氦时长t_1.i均满足公式(1.1)或(1.2)时，也可近似的取多次压氦法n次压氦后的最长候检时长为：

4.根据权利要求3所述的多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，包括步骤S2去除吸附氦和步骤S3判定候检时长，其特征在于，对预充氦压氦法，从结束第n(n≥1)次压氦到实施漏率检测的最长候检时长t_2.n.max应不大于规定值，该规定值通过以下公式得到：

式(5)中，P_He.2n.0和P_He.2n.m分别为经n次压氦后，初始为预充氦的τ_He＝τ_He0和τ_He＝τ_Hemin被检件的内部氦分压：

式(5.1)和(5.2)中，t_3.0n为预充氦密封结束至第n次压氦结束的时间间隔。

5.根据权利要求4所述的多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，包括步骤S2去除吸附氦和步骤S3判定最长候检时长，其特征在于，当预充氦后的各次压氦时长均满足公式(2)时，同样可通过公式(4)近似得到预充氦压氦法n次压氦后的最长候检时长t_2.n.max。

6.根据权利要求5所述的多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，包括步骤S2去除吸附氦、步骤S4读取实测测量漏率R_t、步骤S5给出R_11.n或R_21.n和步骤S6合格判定，其特征在于，依据基本判据——严密等级τ_Hemin，通过以下公式得到测量漏率判据R_n.max，在多次压氦法中判据R_n.max为R_11.n.max，在预充氦压氦法中判据R_n.max为R_21.n.max；

对多次压氦法，n(n≥2)次压氦后的测量漏率判据为：

式(6)中，t_2.n为第n次压氦后的候检时长，t_2.n不得大于公式(3)或(4)中的t_2.n.max；

对预充氦压氦法，n(n≥1)次压氦后的测量漏率判据为：

式(7)中，t_2.n为第n次压氦后的候检时长，t_2.n不得大于公式(5)或(4)中的t_2.n.max。