[发明专利]灯丝碳化工艺设备及其操作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种灯丝碳化工艺设备及其操作方法。

背景技术

现有的灯丝碳化工艺，采用一个恒流电源控制几个阴极组件，比如一个恒流电源控制50个阴极组件，阴极组件也就是灯丝组件，当其中的某个或某些阴极组件接触不良时，就会造成碳化不稳定，导致磁控管阴极碳化率一致性难以保障，影响磁控管成品性能。

发明内容

本发明的目的旨在提供一种结构简单合理、操作灵活、碳化稳定的灯丝碳化工艺设备及其操作方法，以克服现有技术中的不足之处。

按此目的设计的一种灯丝碳化工艺设备，包括恒流电源和阴极组件，其特征是恒流电源的数量与阴极组件的数量相等，每一个恒流电源对应一个阴极组件。

一种灯丝碳化工艺设备的操作方法，其特征是预先通过对阴极组件的碳化率设定一个预定值，将每一个恒流电源与其对应一个阴极组件构成一个单元，在阴极组件的碳化过程中，当某一单元的碳化率达到预定值时，切断该单元中的恒流电源停止碳化。

灯丝碳化工艺设备的操作方法还包括碳化台软件系统，碳化率的预定值存放在碳化台软件系统中，碳化台软件系统控制恒流电源的工作与否。

所述碳化率的预定值为12%-15%。

本发明采用一个恒流电源控制一个阴极组件的碳化工艺，由以前的控制碳化时间改为现在的控制碳化率，当碳化率达到预定值时，由碳化台软件系统切断该单元中的恒流电源停止碳化，以确保每一个阴极组件的碳化率均能保持一致性和稳定性，利于提升磁控管的质量。

本发明具有结构简单合理、操作灵活、碳化稳定的特点。

附图说明

图1为本发明一实施例结构示意图。

图中：1为阴极组件，2为碳化工作台。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明作进一步描述。

本灯丝碳化工艺设备，包括恒流电源和阴极组件，其特征是恒流电源的数量与阴极组件1的数量相等，每一个恒流电源对应一个阴极组件1。

灯丝碳化工艺设备的操作方法，预先通过对阴极组件1的碳化率设定一个预定值，将每一个恒流电源与其对应一个阴极组件1构成一个单元，在阴极组件1的碳化过程中，当某一单元的碳化率达到预定值时，切断该单元中的恒流电源停止碳化。

灯丝碳化工艺设备的操作方法还包括碳化台软件系统，碳化率的预定值存放在碳化台软件系统中，碳化台软件系统控制恒流电源的工作与否。

在本实施例中，所述碳化率的预定值为12%-15%。

阴极组件1的碳化过程包括低真空、高真空、除气、碳化、高真空、脱碳、冷却、充N2冷却等步骤。

在碳化工作台2上可以一次性对36～50个阴极组件1进行碳化。