[发明专利]基板收纳状态检查装置及包括该装置的基板收纳设备

权利要求书

1.一种基板收纳设备，包括：

基板收纳状态检查装置，在收纳形成为圆板状的半导体基板的收纳空间，支持所述半导体基板的外周部的支持体以沿上下方向分开的状态并列多层而设置，并且将设置有在所述收纳空间与外部之间取放所述半导体基板的开口部的输送容器作为检查对象；以及

容器收纳架，包括多个收纳所述输送容器的收纳部，

此处，所述基板收纳状态检查装置，包括：

照明装置，经由所述开口部向收纳在位于检查用位置的所述输送容器的所述半导体基板照射光；

拍摄装置，拍摄由所述照明装置照射光的所述半导体基板；以及

基板收纳状态判别部，基于由所述拍摄装置拍摄的图像，执行判别所述半导体基板的收纳姿势是否正常的基板收纳状态判别处理，

其特征在于，

所述照明装置在位于所述检查用位置的所述输送容器的开口部的前面侧，包括沿与所述开口部的上下方向正交的宽度方向分开而设置的第一照明部和第二照明部，

所述基板收纳状态判别部执行辉点检测处理，在由所述拍摄装置拍摄的检查对象图像中，检测利用所述第一照明部和所述第二照明部照射的光而在所述半导体基板的周缘部的周方向上分开的部位产生的一对高辉度部分，并且

基于通过所述辉点检测处理而在所述检查对象图像上检测的所述一对高辉度部分的上下方向的位置的对应关系，执行判别所述半导体基板的收纳姿势是否异常的姿势判别处理；

所述基板收纳状态检查装置在所述容器收纳架的入库口、或者向所述入库口输送所述输送容器的输送装置。

2.如权利要求1所述的基板收纳设备，其特征在于，

所述第一照明部和所述第二照明部的各个包括沿上下方向构成为长条状的光源而构成。

3.如权利要求1所述的基板收纳设备，其特征在于，

所述拍摄装置由1台拍摄用照相机构成。

4.如权利要求2所述的基板收纳设备，其特征在于，

所述拍摄装置由1台拍摄用照相机构成。

5.如权利要求1至4的任一项所述的基板收纳设备，其特征在于，

设置有显示所述基板收纳状态判别部的判别结果的显示装置，

所述基板收纳状态判别部构成为，在判别为在与通过所述辉点检测处理在所述检查对象图像上检测到的高辉度部分对应的高度、与该高辉度部分在所述宽度方向不同的位置设定的对应部分不存在其他高辉度部分的情况下，将该对应部分判别为不存在所述半导体基板的异常部分，执行异常显示处理，

所述异常显示处理是将示出所述高辉度部分的高辉度记号和示出所述异常部分的异常记号，与所述检查对象图像中的所述高辉度部分和所述异常部分的相对位置关系建立对应，在所述显示装置显示的处理。

6.如权利要求1至4的任一项所述的基板收纳设备，其特征在于，

所述检查用位置设定在输送所述输送容器的输送路径上，

所述第一照明部和所述第二照明部设置在所述输送路径中的所述输送容器的移动范围的所述宽度方向的两侧部、且不与所述移动范围重叠的位置，

所述拍摄装置设置在所述输送路径的上方、且不与所述移动范围重叠的位置。

7.如权利要求5所述的基板收纳设备，其特征在于，

所述检查用位置设定在输送所述输送容器的输送路径上，

所述第一照明部和所述第二照明部设置在所述输送路径中的所述输送容器的移动范围的所述宽度方向的两侧部、且不与所述移动范围重叠的位置，

所述拍摄装置设置在所述输送路径的上方、且不与所述移动范围重叠的位置。