[发明专利]正型感光性树脂组合物及其应用

说明书

技术领域

本发明是有关一种正型感光性树脂组合物，详言之，是有关一种蚀刻后颜色不脱落的正型感光性树脂组合物及其应用。

背景技术

随着生活中各种电子产品走向轻、薄的趋势，各种智能型手机、薄型电视以及高效能微处理器已广泛使用，而其中所应用的光微影工艺越来越精密，且所形成的线宽亦越来越精细。

针对上述的目的，日本公开特许平11-143067，公开一种正型感光性组合物，该组合物包含酚醛清漆树脂、可吸收紫外光的染料、光酸发生剂与通过酸催化的架桥剂。该专利使用氘取代的二甲基亚砜溶液，进行酚醛清漆树脂的合成，可获得感度与耐化性提升的效果。

然而前述的公知技术中，其金属线路于蚀刻后，附着于金属线路上的光阻图案皆有光线遮蔽率不足或该图案颜色易脱落的问题发生。且因光线遮蔽率不足或颜色的脱落的原故，导致光阻无法遮蔽金属线路的反射光线，特别是在半导体集成电路组件、薄膜晶体管的液晶显示组件或触控面板的工艺中，使后续相关的黄光工艺中的分辨率降低。

有鉴于此，于本领域中有必要发展一种蚀刻后颜色不脱落的正型感光性树脂组合物材料，以克服公知技术的问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种正型感光性树脂组合物及其图案形成方法，以及该方法制得的薄膜晶体管数组基板和包含该薄膜晶体管数组基板的液晶显示组件。特别是提供一种使用在半导体集成电路组件、薄膜晶体管的液晶显示组件或触控面板的制造中，可于金属线路上形成细小图案的正型感光性树脂组合物，且该图案能显有颜色，并在蚀刻后颜色不脱落，利于遮蔽金属线路的反射光线。

为达上述目的，本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其包含：

酚醛清漆树脂A；

邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B；

染料C；及

溶剂D；

其中，该酚醛清漆树脂A是由甲酚类(cresol)芳香族羟基化合物与醛类化合物聚缩合而得，且基于凝胶渗透色层分析法所测得的酚醛清漆树脂A分子量的积分面积为100%，该酚醛清漆树脂A中的甲酚二核体面积为0.5%至6%；该染料C包含染料C-1及染料C-2，且该染料C-1是选自由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的群；及该染料C-2为三芳甲烷系染料。

在本发明的正型感光性树脂组合物中，优选地，所述凝胶渗透色层分析法是将酚醛清漆树脂A分子量为200至150000的讯号作积分，并以分子量及累积重量百分率获得积分分子量分布曲线；其中所述凝胶渗透色层分析法是使用制的717plus进样仪；制的79911GP-501、79911GP-502、79911GP-503或79911GP-504管柱及制的2414RI Detector检出器；移动相：四氢呋喃；流量：1.0mL/min；注射量：100μL；测定温度：40℃；测定时间：60分钟；分子量标准品为聚苯乙烯。

在本发明的正型感光性树脂组合物中，优选地，基于酚醛清漆树脂A的使用量为100重量份，所述邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B的使用量为5至50重量份。

在本发明的正型感光性树脂组合物中，优选地，所述染料C-2为具有下列式1或式2所示结构的化合物或其盐类：

式1

式2

式1中：

R₁及R₂是独立选自由氢原子、卤素原子及具1至5个碳数的烷基所组成的群；

R₃、R₄、R₅及R₆是独立选自由氢原子、具1至5个碳数的烷基、苯基及芐基所组成的群；及

R₇是选自由式3、式4及式5所组成的群；

式3

式4

式5

其中：

R₈至R₁₀是独立选自由氢原子及-NR₂₅R₂₆所组成的群；

其中：

R₂₅及R₂₆是独立选自由氢原子、具1至5个碳数的烷基、芐基、苯基及p位包含具1至3个碳数的烷基或具1至3个碳数的烷氧基取代的苯基所组成的群；及

R₁₁至R₁₆是独立选自由氢原子、羟基及-SO^3-所组成的群；

式2中：