[发明专利]提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性的结构有效
| 申请号： | 201310166218.X | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN103256989A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 孟如男;王玮冰 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | G01J5/16 | 分类号： | G01J5/16 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 封闭 热电 探测器 导热 稳定性 结构 | ||
1.一种提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构，包括一热电堆功能区(101)，其特征在于：
在热电堆功能区(101)的四周环绕热电堆功能区(101)设置有立体构造的金属环(103)，所述金属环(103)由具有垂直构造的金属内环(103-2)和金属外环(103-1)构成；金属内环(103-2)和金属外环(103-1)有金属层连通。
2.如权利要求1所述的提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构，其特征在于：所述金属内环（103-2）和金属外环（103-1）均包含自下而上交替设置的至少一层通孔层和至少一层金属层；通孔层内填充金属材料，连接上下相邻的金属层；金属内环（103-2）和金属外环（103-1）之间留有电路走线区（300）；
至少有一层金属层在金属内环（103-2）和金属外环（103-1）之间延伸，穿透电路走线区（300），连接金属内环（103-2）和金属外环（103-1）；以使得金属内环（103-2）和金属外环（103-1）热导通。
3.如权利要求2所述的提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构，其特征在于：
所述金属内环(103-2)自下而上交替设置有内环下层通孔层(104-2)、下层金属层(204)、内环第一中间通孔层(105-2)、内环第一中间金属层(203-2)、内环第二中间通孔层(106-2)、内环第二中间金属层(202-2)、内环第三中间通孔层(107-2)、上层金属层(201)；
对应于金属内环(103-2)的自下而上交替的各通孔层和金属层，相应地，所述金属外环(103-1)自下而上交替设置有外环下层通孔层(104-1)、下层金属层(204)、外环第一中间通孔层(105-1)、外环第一中间金属层(203-1)、外环第二中间通孔层(106-1)、外环第二中间金属层(202-1)、外环第三中间通孔层(107-1)、上层金属层(201)；
下层金属层(204)和上层金属层(201)在金属内环(103-2)和金属外环(103-1)之间延伸，穿透电路走线区(300)，连接金属内环(103-2)和金属外环(103-1)。
4.如权利要求3所述的提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构，其特征在于：所述金属内环（103-2）和金属外环（103-1）互相平行设置。
5.如权利要求3所述的提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构，其特征在于：金属内环（103-2）的各层金属层、通孔层与金属外环（103-1）的各对应的金属层、通孔层在垂直方向上等高分布。
6.如权利要求3所述的提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构，其特征在于：金属内环（103-2）和金属外环（103-1）的各通孔层内填充的金属材料为钨。
7.如权利要求3所述的提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构，其特征在于：金属内环（103-2）和金属外环（103-1）的各金属层的材料为铜或铝。
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