[发明专利]自动微操作装置

权利要求书

1.一种自动微操作装置，其特征在于包括设置在基座上的多自由度机械手部分、微定位平台部分、自动变焦显微视觉部分、微电脑控制部分，多自由度机械手部分包括设置在基座上的带有关节传感器的五自由度机械手、由五自由度机械手带动的微夹钳，微定位平台部分包括设置在基座上的宏动台、设置在宏动台上的微动台、设置在微动台上的载物台、设置在微动台上的微位移检测器，自动变焦显微视觉部分包括设置在基座上的垂直升降平台、由垂直升降平台带动的带有照明光源的显微镜、设置在显微镜上的摄像机，在宏动台旁的基座上设置有大距离位移检测器，关节传感器的电信号输出、大距离位移检测器的电信号输出、微位移检测器的电信号输出分别与微电脑控制部分的电信号输入相连，微电脑部分控制五自由度机械手、微夹钳、宏动台、微动台、垂直升降平台的动作。

2.根据权利要求1所述的自动微操作装置，其特征在于在基座与宏动台间设置有隔振台。

3.根据权利要求1或2所述的自动微操作装置，其特征在于宏动台是X轴、Y轴两自由度的动力移动台，大距离位移检测器有两个，分别位于宏动台的X轴、Y轴方向，微动台由压电陶瓷驱动的X轴、Y轴两自由度的基于柔性铰链差式杠杆机构，微位移检测器有两个，分别位于微动台的X轴、Y轴方向。

4.根据权利要求3所述的自动微操作装置，其特征在于大距离位移检测器采用的是直线光栅位移检测器，微位移检测器采用的是DVD激光探头位移检测器。