[发明专利]石墨烯作为X射线管阴极及其X射线管有效
申请号: | 201310166516.9 | 申请日: | 2013-05-08 |
公开(公告)号: | CN103219212A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 李葵阳 | 申请(专利权)人: | 重庆启越涌阳微电子科技发展有限公司 |
主分类号: | H01J35/06 | 分类号: | H01J35/06 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 张先芸 |
地址: | 401332 重庆市沙坪坝区*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 作为 射线 阴极 及其 | ||
技术领域
本发明涉及石墨烯作为X射线管阴极,特别是一种高效率石墨烯阴极场发射X射线管。
背景技术
X射线管是主要用于医学上诊断和治疗,在工业技术方面用于材料的无损检测、结构分析、光谱分析和底片曝光等的装置。X射线对人体有害,使用时须采取有效防护措施。
X射线管是利用高速电子撞击金属靶面产生X射线的真空电子器件。传统X射线管一般采用热电子发射阴极,将钨,六硼化镧等材料加热到足够高温度,使一部分动能大的电子克服物体表面势垒逸出体外,在材料周围形成等离子体,当有外加电场作用时,形成电子束发射,此种X射线管能耗大,效率低,电能转换为X射线的效率不到1%,而且存在相当一部分杂散射线,绝大部分电能转换为热能,使用时需要大电流,耐高温使用。
场致发射不需要阴极加热,利用强电场使物体表面附近的电子穿过表面势垒发射电子,场致发射的性能依赖于材料的能带结构,功函数以及材料的表面结构;场致电子发射源具有发射密度大,能耗低,快速启动等优点。场致发射X射线管都采用纳米碳管作为阴极(电子发射源),纳米碳管由于生长工艺及结构限制存在碳管与基底结合不牢固,耐压能力不足,最高电压一般不超过100KV;高压工作时容易损坏碳管结构,发射失效,同时降低管内真空度,使射线管损坏,寿命短;碳管生长杂乱无章,电子发射方向性不好等一系列缺点。现有技术中,尚无采用石墨烯作阴极的X射线管。
发明内容
鉴于现有X射线管存在上述不足,本发明解决X射线管辐射剂量大的问题,以及现有X射线管转换效率低,稳定性不好、寿命短的问题,提供石墨烯作为X射线管的阴极即电子发射源。
本发明还提供一种高效率石墨烯阴极场发射X射线管。
为达到上述目的,本发明采用下述技术方案:石墨烯作为X射线管的阴极即电子发射源。
本发明还提供一种高效率石墨烯阴极场发射X射线管,包括阴极组件,阳极组件,真空玻管;其特征在于,阳极组件包括阳极靶、可伐圈和阳极柄,阳极靶与阳极柄为一个整体;可伐圈的一端通过中频电源加热银铜焊料与阴极靶焊接,另一端与玻管烧结,使阳极靶密封于真空玻管内,阳极柄延伸出玻管外用于接阳极高压;
阴极组件包括阴极头,阴极罩,玻璃芯柱,阴极座,石墨烯阴极,工艺灯丝,陶瓷绝缘柱,钼支杆,可伐芯柱;阴极头上端开大小两个矩形槽用于安装石墨烯阴极及工艺灯丝,石墨烯阴极点焊在阴极座表面,钼支杆的一端支撑阴极座,另一端穿过陶瓷绝缘柱,与阴极头绝缘,任一支钼支杆的另一端与可伐芯柱通过可伐丝焊接;工艺灯丝通过钼支杆与阴极头连接,另一端通过钼支杆穿过陶瓷绝缘柱与可伐芯柱连接;陶瓷绝缘柱通过螺丝挤压的方式与阴极头固定,并将石墨烯阴极与阴极头绝缘;阴极罩与阴极头铆接为一个整体,可伐芯柱一端点焊在阴极头的下端,可伐芯柱的另一端穿过玻璃芯柱用于外部电气连接;玻璃芯柱,真空玻管,可伐圈通过玻璃烧结形成一个密封整体,将阴极组件,阳极靶密封于真空玻管内。
阴极罩上端开大小两个矩形孔,小孔对应工艺灯丝,大孔对应石墨烯阴极。
在所述高效率石墨烯阴极场发射X射线管中,高压通过于阳极柄引入,石墨烯阴极通过可伐芯柱接地,阳极与阴极之间高压使石墨烯阴极发射电子,阴极头和阴极罩铆接为一个等点位体,作为X射线管的栅极,在两者与石墨烯阴极间加-2000—+2000v电压,控制电子发射大小,高压使电子在高压电场的作用下加速轰击阳极靶从而产生X射线。
本发明高效率石墨烯阴极场发射X射线管采用石墨烯作为X射线管的阴极(电子发射源),石墨烯特殊能带结构和准SP3态的形成,从而产生了负电子亲和势;另一方面,石墨烯薄膜大曲率导致了高密度电子局域分布的形成,使局域场得到增强,从而使电子更容易逸出表面,使得该材料具有优良的电子场发射能力,石墨烯电子源的电子从材料顶部边沿(如图5所示)发射,具有良好方向性,一致性,易于聚焦,方向性、一致性的电子流轰击阳极时产生的X射线与热量的比例增加(热阴极的比例不到1%),较少二次电子及杂散射线,提高x射线管效率;石墨烯采用高温化学气相工艺制备,合理的催化介质选择,温度参数控制,严格的混合气体比例,及射频和等离子体控制,在1400的高温中生长在镍基底上,同时经过严格的激光烧蚀,电子轰击,等离子体轰击后期处理,使石墨烯阴极具有高耐压(大于150KV),稳定性,寿命长。
相比现有技术,本发明具有如下优点:
1、转换效率高,杂散射线少,在医疗,安检等领域应该时减少人体所承受的辐射剂量;
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