[发明专利]用于剪裁出硬而易碎的基板的方法及装置

权利要求书

1.一种用于剪裁出硬而易碎的基板的方法，所述方法包括：

在由硬而易碎的材料制成的板材上布局将要裁剪出的多个基板并留出通过喷射进行切割所需的空间，并在每一所述基板所布局的位置处在所述板材的前表面和后表面的每一表面上形成具有耐喷射特性的第一保护膜；

在所述基板的外边缘上形成具有耐喷射特性的第二保护膜并留出通过喷射进行切割所需的空间，并使用所述第二保护膜覆盖所述板材的边缘，以使所述板材的外围部分中的暴露宽度等于或小于5mm；

在各个所述第一保护膜之间以及在所述第一保护膜与所述第二保护膜之间未形成有所述第一保护膜及所述第二保护膜的区域上设定切割区域；以及

从所述板材的任意一个表面将所述切割区域切割至所述板材的板厚度的约一半的深度，随后从所述板材的另一表面切割所述切割区域，直至与从所述板材的所述一个表面形成的切割部分连通为止。

2.如权利要求1所述的用于剪裁出硬而易碎的基板的方法，其中，所述切割区域的宽度等于或小于5mm。

3.如权利要求1或2所述的用于剪裁出硬而易碎的基板的方法，其中，在通过抽吸固定所述板材的前表面而使所述板材浮置的状态中，所述板材的所述切割区域通过喷射而被从所述板材的后表面侧切割至所述板厚度的约一半的深度，随后在所述板材的所述后表面中形成有所述第一保护膜的部分被安装并通过抽吸而固定于用于基板的抽吸固定基座上，所述用于基板的抽吸固定基座具有分别与所述基板相对应的平面形状，且形成有所述第二保护膜的所述边缘被安装于边缘基座上，以通过喷射从所述板材的前表面侧切割所述切割区域。

4.如权利要求1所述的用于剪裁出硬而易碎的基板的方法，其中，

欲通过喷射而喷出的磨料选自碳化硅、氧化铝、锆石、氧化锆、金刚石、氧化铈、不锈钢、铸钢、合金钢、高速钢、碳化钨或FeCrB，并具有Hv700～Hv9000的硬度、3.0～15.3的真比重、以及20μm～100μm的中值粒径，且基本上为球形的所述磨料是以100m/s～250m/s的喷出速度或以0.2MPa～0.5MPa的喷出压力喷出。

5.如权利要求3所述的用于剪裁出硬而易碎的基板的方法，其中，

欲通过喷射而喷出的磨料选自碳化硅、氧化铝、锆石、氧化锆、金刚石、氧化铈、不锈钢、铸钢、合金钢、高速钢、碳化钨或FeCrB，并具有Hv700～Hv9000的硬度、3.0～15.3的真比重、以及20μm～100μm的中值粒径，且基本上为球形的所述磨料是以100m/s～250m/s的喷出速度或以0.2MPa～0.5MPa的喷出压力喷出。

6.一种用于剪裁出硬而易碎的基板的装置，其中，欲从由硬而易碎的材料所制成的板材剪裁出的多个基板被布局于所述板材上并留出通过喷射进行切割所需的空间；具有耐喷射特性的第一保护膜在每一所述基板所布局的位置处形成于所述板材的前表面和后表面的每一表面上；具有耐喷射特性的第二保护膜形成于所述基板的外边缘上并留出通过喷射进行切割所需的空间；且所述板材的边缘被覆盖以使得所述板材的外围部分中的暴露宽度等于或小于5mm，从而使所述板材作为处理对象，

所述装置包括：

板材悬置夹具，其包括抽吸固定板，所述抽吸固定板用于通过抽吸而固定所述板材的所述前表面，并使通过抽吸而固定在所述抽吸固定板上的所述板材保持在使所述板材浮置在半空中的状态；

用于后表面处理的喷嘴，其用于将磨料喷出至由所述板材悬置夹具所悬置的所述板材的所述后表面；

板材安装夹具，其用于在从所述板材的所述后表面进行喷射之后安装所述板材，所述板材安装夹具包括：多个用于基板的抽吸固定基座，其具有与将要裁剪出的所述基板相对应的平面形状，所述多个用于基板的抽吸固定基座用于在其上面通过抽吸而固定并安装所述板材的所述后表面中被所述第一保护膜覆盖的部分；以及边缘基座，其设置于一组所述多个用于基板的抽吸固定基座的外周边位置处，所述边缘基座用于在其上面安装所述板材中被所述第二保护膜覆盖的部分；以及

用于前表面处理的喷嘴，其用于将磨料喷出至安装于所述板材安装夹具上的所述板材的所述前表面。

7.如权利要求6所述的用于剪裁出硬而易碎的基板的装置，其中，

所述板材悬置夹具包括用于所述抽吸固定板的上下移动机构及水平移动机构，

所述板材安装夹具包括行进构件，以及

所述装置还包括控制单元，所述控制单元用于使各个单元执行以下操作：所述板材悬置夹具从其起始位置降低所述抽吸固定板，并使所述抽吸固定板通过抽吸而固定位于所述起始位置下方的所述板材；随后，所述板材悬置夹具水平移动，同时所述抽吸固定板向上移动，从而在用于喷出所述磨料的所述用于后表面处理的喷嘴上方穿过；随后，所述板材悬置夹具移动至所述板材安装夹具上方的位置，并在该位置处降低所述抽吸固定板，从而将所述板材安装于所述板材安装夹具上，且随后释放所述抽吸固定板的所述抽吸；以及所述板材安装夹具开始通过抽吸而固定所述板材，并行进且在用于喷出所述磨料的所述用于前表面处理的喷嘴下方穿过。