[发明专利]吸嘴检查装置

权利要求书

1.一种吸嘴检查装置，对用于吸附元件的吸嘴的清扫状态进行检查，所述吸嘴检查装置具备：

清扫装置，对所述吸嘴进行清扫；

安装于基台上的安装台；

吸嘴保持托盘，以能够旋转的方式设于所述安装台，且在圆周上等间隔地设有以垂直状态保持所述吸嘴的多个吸嘴保持部；

旋转装置，使所述吸嘴保持托盘每次旋转规定的旋转角而使所述吸嘴保持部依次转位到检查位置；

上下移动装置，以能够上下移动的方式安装于所述基台；

吸嘴连接部，以能够沿着上下方向移动的方式设置于所述上下移动装置，与在转位到所述检查位置的所述吸嘴的基端开口的基部侧的吸嘴孔连接或分离，并抽吸空气；

流量检测部，检测经由所述吸嘴连接部从所述基部侧的吸嘴孔抽吸的空气的流量；及

清扫状态判定部，基于由所述流量检测部检测出的空气的流量，在由所述清扫装置清扫后判定所述吸嘴保持托盘上的吸嘴的清扫状态。

2.根据权利要求1所述的吸嘴检查装置，其中，

在所述旋转装置上具有能够相对于所述安装台旋转的转台，

所述吸嘴保持托盘以能够拆装的方式安装于所述转台。

3.根据权利要求2所述的吸嘴检查装置，其中，

在所述吸嘴保持托盘或所述转台上，在与所述各吸嘴保持部对应的位置分别设有显示所述吸嘴的清扫状态是否良好的结果的显示部，

所述吸嘴检查装置具有判定结果反映部，所述判定结果反映部基于所述清扫状态判定部对所述吸嘴的清扫状态的判定结果使所述显示部反映所述吸嘴的清扫状态是否良好的结果。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的吸嘴检查装置，其中，

所述吸嘴检查装置具有对所述吸嘴的吸附侧的前端部进行拍摄的吸嘴拍摄装置，

所述清扫状态判定部基于由所述吸嘴拍摄装置拍摄到的所述吸嘴的吸附侧的前端部的图像来判定所述吸嘴的清扫状态。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的吸嘴检查装置，其中，

在所述吸嘴上设有记载或存储用于识别所述吸嘴的识别信息的识别部，

所述吸嘴检查装置具有：

识别信息读取部，读取所述识别部的识别信息；及

对应建立部，将由所述清扫状态判定部判定的所述吸嘴的清扫状态与由所述识别信息读取部读取的所述识别信息建立对应地进行存储。

6.根据权利要求4所述的吸嘴检查装置，其中，

在所述吸嘴上设有记载或存储用于识别所述吸嘴的识别信息的识别部，

所述吸嘴检查装置具有：

识别信息读取部，读取所述识别部的识别信息；及

对应建立部，将由所述清扫状态判定部判定的所述吸嘴的清扫状态与由所述识别信息读取部读取的所述识别信息建立对应地进行存储。

7.根据权利要求5所述的吸嘴检查装置，其中，

所述识别部是用于识别所述吸嘴的图案，

所述识别信息读取部是拍摄所述图案的识别部拍摄装置，

所述清扫状态判定部基于由所述识别部拍摄装置拍摄到的图案的污损状态来判定所述吸嘴的清扫状态。

8.根据权利要求6所述的吸嘴检查装置，其中，

所述识别部是用于识别所述吸嘴的图案，

所述识别信息读取部是拍摄所述图案的识别部拍摄装置，

所述清扫状态判定部基于由所述识别部拍摄装置拍摄到的图案的污损状态来判定所述吸嘴的清扫状态。