[发明专利]用于光刻系统的图案生成器

权利要求书

1.一种图案生成器，包括：

平面镜阵列板，包括平面镜；

第一电极板，设置在所述平面镜阵列板上方，所述第一电极板包括至少一个第一导电层和至少一个第二导电层；

小透镜，设置在所述平面镜上方，所述小透镜包括在所述第一电极板中所形成的非竖直侧壁；以及

第一绝缘层，夹置在所述平面镜阵列板和所述第一电极板之间。

2.根据权利要求1所述的图案生成器，进一步包括：

第二绝缘层，设置在所述第一电极板上方；以及

第二电极板，设置在所述第二绝缘层上方；

其中，所述小透镜还包括在所述第二电极板中形成的非竖直侧壁。

3.根据权利要求1所述的图案生成器，其中，所述电极板平行于所述平面镜阵列板。

4.根据权利要求1所述的图案生成器，其中，所述非竖直侧壁包括U形侧壁或L形侧壁。

5.根据权利要求1所述的图案生成器，其中，所述电极板包括两个第一导电层和夹置在所述两个第一导电层之间的一个第二导电层。

6.根据权利要求1所述的图案生成器，其中，所述第一导电层不同于所述第二导电层。

7.根据权利要求6所述的图案生成器，其中，与所述第二导电层相比，所述第一导电层包括不同的蚀刻率。

8.根据权利要求6所述的图案生成器，其中，与所述第二导电层相比，所述第一导电层包括不同的应力。

9.一种用于制造光刻胶图案的方法，所述方法包括：

接收衬底；

在所述衬底上沉积光刻胶膜；

利用图案生成器(PG)使沉积在所述衬底上的所述光刻胶膜曝光，其中，所述图案生成器包括：

平面镜阵列板，具有平面镜；

至少一个绝缘层，设置在所述平面镜阵列板上方；

至少一个电极板，设置在所述绝缘板上方，所述电极板包括至少一个第一导电层和至少一个第二导电层；和

小透镜，形成在所述平面镜上方，所述小透镜包括在所述电极板中形成的非竖直侧壁；以及

通过使曝光的光刻胶膜显影，在所述衬底上形成所述光刻胶图案。

10.一种用于制造图案生成器的方法，所述方法包括：

接收具有平面镜的平面镜阵列板；

在所述平面镜阵列板上方沉积至少一个绝缘层；

在所述绝缘层上方形成至少一个电极板，其中，形成所述电极板包括：在所述绝缘体上方沉积至少一个第一导电层并且在所述第一导电层上方沉积至少一个第二导电层；以及

在所述平面镜上方形成小透镜，其中，形成所述小透镜包括：实施凹槽蚀刻，以在所述电极板中形成非竖直侧壁。