[发明专利]一种2450MHz大功率连续波磁控管及其制备方法有效
申请号: | 201310168125.0 | 申请日: | 2013-05-08 |
公开(公告)号: | CN103346053A | 公开(公告)日: | 2013-10-09 |
发明(设计)人: | 杨宋寒;刘友春;王荣川;吴云龙;刘青雨 | 申请(专利权)人: | 南京三乐电子信息产业集团有限公司;南京三乐微波技术发展有限公司 |
主分类号: | H01J23/033 | 分类号: | H01J23/033;H01J23/027;H01J25/50;H01J9/02;H01J9/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 杨海军 |
地址: | 210009 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 2450 mhz 大功率 连续 波磁控管 及其 制备 方法 | ||
1.一种2450MHz大功率连续波磁控管,其特征在于,它包括阳极腔体组合(1),阴极引出线组合(2),与阳极腔体组合(1)相连的输出窗组合(3),固定在阳极腔体组合(1)上的输出天线(4),输出天线(4)另一端位于输出窗组合(3)内部;所述的阳极腔体组合(1)连接有腔体冷却水进出水管(5);
所述的阴极引出线组合(2)包括绝缘陶瓷筒(2-1),位于绝缘陶瓷筒(2-1)内的扼流筒(2-2),位于扼流筒(2-2)内的支持筒(2-3),位于支持筒(2-3)内的灯丝扼流筒(2-4),位于灯丝扼流筒(2-4)内部的内引线组合(2-5),引线杆(2-6),安装在引线杆(2-6)一端上的灯丝(2-7),连接在内引线组合(2-5)一端的排气管(2-8),扼流筒(2-2)一端连接有上极靴(2-9),引线杆(2-6)上安装有屏蔽帽(2-10),连接灯丝电源的灯丝引线柱(2-11),内引线组合(2-5)外周设置有防止灯丝回路短路的灯丝回路绝缘陶瓷(2-12),所述的引线杆(2-6)和支持筒(2-3)之间设置有耐高温,保持引线杆(2-6)垂直度的宝石瓷(2-13);
所述的阳极腔体组合(1)包括位于腔体内的腔体叶片(1-1),设置在腔体外周的水冷套(1-2),每个腔体叶片(1-1)上均开设有进水管(1-3),出水管(1-4)和螺纹状水嘴塞子(1-5),设置在腔体两端,用于增加模式分割度的双端双环的隔膜带(1-6);
所述的输出窗组合(3)包括陶瓷输出窗(3-1)和下极靴(3-2),所述的下极靴(3-2)呈阶梯结构。
2.根据权利要求1所述的2450MHz大功率连续波磁控管,其特征在于,所述的谐振系统为扇槽形,谐振腔数目为12。
3. 权利要求1或2所述的2450MHz大功率连续波磁控管的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
(a)阴极引出线组合的制备:首先选用金为焊料,辅助焊接模具(2-14),将上极靴(2-9)、扼流筒(2-2) 、绝缘陶瓷筒(2-1)焊接组成上极靴组合,其中扼流筒(2-2)位于绝缘陶瓷筒(2-1)内部,并保持同轴心;然后采用氩弧焊方法将支持筒(2-3)焊接在扼流筒(2-2)内,并保持二者同轴心;然后将引线杆(2-6)一端装配在支持筒(2-3)内,并在引线杆(2-6)和支持筒(2-3)之间焊接有宝石瓷(2-13);辅助焊接模具(2-15),最后将灯丝(2-7)通过氩弧焊焊接在引线杆(2-6)另一端上;
(b)阳极腔体组合的制备:采用金铜焊料,辅助焊接模具(1-7),在腔体叶片(1-1)上车削出进水管(1-3)和出水管(1-4),使水路结构成∏型水路冷却结构,并将能增加水路接触面积的螺纹状水嘴塞子(1-5)装配到腔体叶片(1-1)水路结构中,然后通过烧氢焊接将腔体叶片(1-1)环形焊接在腔体内,使腔体叶片(1-1)之间构成扇槽形谐振腔,然后将能增加模式分割度的双端双环的隔膜带(1-6)焊接在阳极腔体两端;然后将水冷套(1-2)焊接在阳极腔体的外周,并将输出天线(4)焊接在腔体叶片(1-1)上;
(c)然后将步骤(a)装配好的阴极引出线组合(2)从步骤(b)装配得到的阳极腔体组合(1)的引线端装入,并用销钉控制阴极引出线组合(2)和阳极腔体组合(1)位置,使灯丝(2-7)刚好位于阳极腔体组合(1)的中心腔体内,然后通过氩弧焊将阴极引出线组合(2)的上极靴(2-9)与阳极腔体组合(1)焊接在一起;
(d)采用铜银为焊料,通过烧氢焊将陶瓷输出窗(3-1)和下极靴(3-2)焊接连接装配得到输出窗组合(3);
(e)通过氩弧焊将输出窗组合(3)焊接在阳极腔体组合(1)上,使阳极腔体组合(1)上的输出天线(4)穿过输出窗组合(3)中的下极靴(3-2)后位于陶瓷输出窗(3-1)内部;
(f)排气处理:将步骤(e)装配得到的磁控管装入双真空排气台上,通过排气管(2-8)对磁控管进行抽气,抽气后再将灯丝(2-7)接入电压回路,进行点灯丝排气处理,具体排气处理时的电流和时间的单位分别为安培和分钟,如下表所示:
排气处理后使磁控管内的真空度小于 ,然后对磁控管的排气管(2-8)进行封离,得到高气密性的真空磁控管;
(g)将腔体冷却水进出水管(5) 通过锡焊连在步骤(f)排气处理过的真空磁控管上,使腔体冷却水进出水管(5)和腔体外周的水冷套(1-2)相连通;
(h)最后将保护帽采用锡焊固定在磁控管封离过的排气管(2-8)上。
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