[发明专利]抛光液循环再生装置

权利要求书

1.一种抛光液循环再生装置，其特征在于，包括：储存槽、电源、第一循环泵及脱气装置；

所述储存槽储存抛光液，储存槽内设置有阳极板和阴极板；

所述电源的阳极与储存槽内的阳极板电连接，电源的阴极与储存槽内的阴极板电连接；

所述第一循环泵的进口与储存槽的底部连接，第一循环泵的出口与脱气装置连接；

所述脱气装置的进液口与第一循环泵的出口连接，脱气装置的出液口与储存槽的顶部连接，脱气装置去除抛光液中的气泡。

2.根据权利要求1所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，还包括铜离子浓度检测装置，铜离子浓度检测装置设置在所述储存槽内，铜离子浓度检测装置检测储存槽内抛光液中铜离子的浓度，如果检测值高于设定值，使所述电源处于工作模式，如果检测值等于或低于设定值，使所述电源处于空闲模式。

3.根据权利要求2所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述电源处于空闲模式时，电源为恒压状态，电源的输出电压为0～2V。

4.根据权利要求1所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，还包括液位检测装置，液位检测装置设置在所述储存槽内，液位检测装置检测储存槽内抛光液的液位。

5.根据权利要求1所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述脱气装置的出液口还与一机台连接，从脱气装置的出液口输出的抛光液供应至所述机台以用于工艺加工。

6.根据权利要求5所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，在所述脱气装置的出液口与机台之间设置有第一过滤器。

7.根据权利要求5所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述机台中的抛光液使用一时间段后排放至所述储存槽。

8.根据权利要求1所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述脱气装置具有内层和外层，内层和外层之间设置有脱气膜，脱气膜将内层和外层隔离，外层与一真空泵连接。

9.根据权利要求1所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述脱气装置具有内层和外层，内层和外层之间设置有脱气膜，脱气膜将内层和外层隔离，内层与一真空泵连接。

10.根据权利要求1所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述储存槽包括电解槽和循环槽，电解槽与循环槽之间由一隔板隔开，一第二循环泵分别与电解槽和循环槽连接，所述阳极板和阴极板设置在电解槽内，循环槽内设置有用于检测抛光液中铜离子浓度的铜离子浓度检测装置和用于检测抛光液液位的液位检测装置。

11.根据权利要求10所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，在所述电解槽与第二循环泵之间设置有第二过滤器。

12.根据权利要求1所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述阳极板和阴极板为片状或网状。

13.根据权利要求1或10所述的抛光液循环再生装置，其特征在于，所述阳极板和阴极板分别为多个，且依次间隔交错布置。