[发明专利]磁场传感器和霍尔器件

权利要求书

1.一种磁场传感器，包括电桥电路，所述电桥电路包括四个桥臂；每一桥臂包括一霍尔电阻元件，至少一个桥臂还包括与对应桥臂上的霍尔电阻元件相串联的可调电阻元件；其中，每一霍尔电阻元件具有一对电阻输出端和一对电流输入端，所述电阻输出端用于接入到所述霍尔电阻元件所在的对应桥臂中，所述电流输入端用于接收工作电流以便在所述电阻输出端产生霍尔电阻。

2.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，每个桥臂均包括与对应桥臂上的霍尔电阻元件相串联的可调电阻元件。

3.根据权利要求1或2所述的磁场传感器，其特征在于，还包括用于向各所述霍尔电阻元件提供所述工作电流的一个或多个直流电源，所述直流电源与各所述霍尔电阻元件的所述电流输入端连接成使得在感应到相同的磁场变化时，每一对相邻桥臂上的霍尔电阻元件的霍尔电阻具有相反方向的变化。

4.根据权利要求3所述的的磁场传感器，其特征在于，所述直流电源为直流电流源，用于向各所述霍尔电阻元件提供大小基本相同的所述工作电流。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的的磁场传感器，其特征在于，还包括基片，各所述霍尔电阻元件由所述基片的表面上的具有霍尔效应的膜形成。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的磁场传感器，其特征在于，所述霍尔电阻元件具有由交叉的横部和竖部形成的十字形结构，所述横部和竖部中的一个的两个端部形成为所述一对电阻输出端，所述横部和竖部中的另一个的两个端部形成为所述一对电流输入端。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的磁场传感器，其特征在于，各所述霍尔电阻元件具有基本相同的尺寸和形状。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的磁场传感器，其特征在于，所述霍尔电阻元件的材料为铁磁性材料或铁磁/金属多层膜或铁磁/氧化物颗粒膜材料。

9.一种霍尔器件，包括：

分布在一基本为正方形区域的四个顶点处的四个霍尔电阻元件，包括：处于所述正方形区域右上角的第一霍尔电阻元件、处于所述正方形区域右下角的第二霍尔电阻元件、处于所述正方形区域左上角的第三霍尔电阻元件、和处于所述正方形区域左下角的第四霍尔电阻元件；其中，各所述霍尔电阻元件具有十字形形状，并且具有基本相同的尺寸和朝向；

与第一霍尔电阻元件和第三霍尔电阻元件的上端部连接的第一电极；与第一霍尔电阻元件和第三霍尔电阻元件的下端部连接的第二电极；

与第二霍尔电阻元件和第四霍尔电阻元件的上端部连接的第三电极；与第二霍尔电阻元件和第四霍尔电阻元件的下端部连接的第四电极；

与第一霍尔电阻元件和第二霍尔电阻元件的右端部连接的第五电极；与第三霍尔电阻元件和第四霍尔电阻元件的左端部连接的第六电极；以及

分别与第一和第二霍尔电阻元件的左端部、第三和第四霍尔电阻元件的右端部连接的第七、第八、第九和第十电极。

10.根据权利要求9所述的霍尔器件，其特征在于，还包括基片，所述霍尔电阻元件以及所述第一至第十电极以及它们之间的连接线为形成在所述基片上膜的形式。