[发明专利]一种扩散炉的气流均匀性检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池片工艺中使用的扩散炉的气流均匀性检测装置。 

背景技术

扩散炉是太阳能电池片工艺中的一种重要设备。扩散炉炉腔中气流均匀性是影响扩散性能的最为关键的因素之一。目前，在工艺过程中一般是通过控制炉腔内的压力和恒温区来保证气流的稳定，但受硅片、SiC浆、进气口和排气口位置等因素的影响炉腔内气流情况往往是很复杂的，各处的气体流动情况都不一样，从而导致同一批扩散硅片存在很大差异。因此，检测气流均匀性是十分必要的。但是，目前对于气流均匀性的检测还缺乏相应的检测装置。

发明内容

本发明的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种扩散炉的气流均匀性检测装置，能精确测量炉体内的气流均匀性。

本发明的技术方案为，一种扩散炉的气流均匀性检测装置，扩散炉的炉体内装有硅片，炉体长度方向的两端分别为炉口和炉尾，该气流均匀性检测装置包括风速测量仪和置于炉体后方并沿炉体长度方向做直线运动的直线运动机构，风速测量仪的测量端从炉尾穿入炉体内且风速测量仪的测量端置于炉体内硅片的上方，而风速测量仪的另一端通过连接件与直线运动机构相连。

所述直线运动机构包括固定部件和固定部件上方并相对固定部件做往复直线运动的运动部件，所述风速测量仪与运动部件相连。

所述固定部件上设有支撑风速测量仪的支撑架。

所述直线运动机构为直线电机，固定部件为直线电机的初级，运动部件为直线电机的次级，直线电机的初级与次级上分别缠绕线圈，并在直线电机的初级与次级之间设有永磁体。

所述扩散炉还设有工控机，所述风速测量仪和直线运动机构通过信号线与工控机相连。

所述连接件为卡箍。

工作时，将风速测量仪在炉腔中预热一段时间，然后启动直线运动机构。直线运动机构在工控机的控制下带动风速测量仪从炉口向炉尾运动，并每移动一定距离停留一段时间，以检测气体流动速度，同时工控机记录风速测量仪检测到的数据。通过检测得到的所有数据就可以评价炉腔内气流的均匀性。

本发明由于采用了以上技术方案，存在以下优点：

（1）本发明所述气流均匀性检测装置，由于仅采用直线运动机构带动风速测量仪来检测气流均匀性，因此整个检测装置结构简单，操作方便。

（2）本发明所述气流均匀性检测装置，可以根据精度要求，通过增大检测点数来提高检测精度。

本发明所述扩散炉气流均匀性检测装置也适用于太阳能电池片生产用PECVD（等离子增强型化学气相沉积）设备。

附图说明

图1为本发明一种实施例的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种扩散炉的气流均匀性检测装置，扩散炉的炉体6内装有硅片7，炉体6长度方向的两端分别为炉口8和炉尾9，扩散炉还设有测量炉体6内气流均匀性的气流均匀性检测装置，该气流均匀性检测装置包括风速测量仪4和置于炉体6后方并沿炉体6长度方向做直线运动的直线运动机构，炉体6的长度方向为图1中的A、B方向，风速测量仪4的测量端从炉尾9穿入炉体6内且风速测量仪4的测量端置于硅片7的上方，而风速测量仪4的另一端通过连接件与直线运动机构相连。扩散炉还设有工控机1，风速测量仪4和直线运动机构通过信号线与工控机1相连。

直线运动机构包括固定部件11和固定部件11上方并相对固定部件11做往复直线运动的运动部件10，所述风速测量仪4与运动部件10相连；固定部件11上设有支撑风速测量仪4的支撑架5，支撑架5的底端固定在固定部件11上并置于风速测量仪4的下方，风速测量仪4可在支撑架5上滑动。

直线运动机构为直线电机，固定部件11为直线电机的初级，运动部件10为直线电机的次级，直线电机的初级与次级上分别缠绕线圈13，并在直线电机的初级与次级之间设有永磁体12。

连接件2为卡箍。