[发明专利]成型电极大气等离子体加工回转零件方法

权利要求书

1.成型电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于它的步骤方法是：

步骤一：将旋转成形电极（1）的上端面绝缘连接在升降装置（2）的竖直运动工作转轴（2-1）上，旋转成形电极（1）的中心开有出气孔（1-1）；在加工内表面时，旋转成形电极（1）的工作面直径尺寸需要比待加工零件（4）的内表面直径尺寸小5mm-15mm，在加工外表面时，旋转成形电极（1）的工作面直径尺寸需要比待加工零件（4）的外表面直径尺寸大5mm-15mm；出气孔（1-1）通过气管（5-1）与混合等离子体气源（5）导气连通；使旋转成形电极（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；

步骤二：将待加工零件（4）装卡在载物台（2-2）上，将载物台（2-2）接地作为大气等离子体放电的阴极；

步骤三：使旋转成形电极（1）靠近待加工零件（4）的待加工表面，并使它们之间保持一定的放电间隙，放电距离范围为5mm-15mm；

步骤四：预热射频电源（3）和混合等离子体气源（5），预热时间为5-10分钟；然后打开混合等离子体气源（5），使等离子体气体的流量为1升/分钟~40升/分钟，反应气体与等离子体气体的流量比为1：10~1：50；辅助气体与反应气体的流量比为1：10~1：1；

步骤五：当旋转成形电极（1）和待加工零件（4）的待加工表面之间的区域内充满等离子体气体、反应气体与辅助气体的混合气体后，启动升降装置（2）的转轴（2-1）转动，使旋转成形电极（1）做回转运动，启动射频电源（3），逐步增加射频电源（3）的功率，使功率达到100W-400W，同时控制射频电源（3）的反射功率为零，在射频电源（3）工作的过程中持续稳定的通入混合气体，使旋转成形电极（1）和待加工零件（4）的待加工表面之间的放电区域产生稳定的等离子体放电；

步骤六：根据去除量的要求，控制旋转成形电极（1）的运动轨迹和在零件表面的驻留时间，用上述产生的大气等离子体对零件表面进行加工；

步骤七：待加工完成后，关闭射频电源（3）的电源，关闭混合等离子体气源（5），取出待加工零件（4），对加工去除深度进行测量，以判断是否达到加工要求。

2.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于所述转成形电极（1）为圆形外凸形。

3.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于所述转成形电极（1）为圆形内凹形。

4.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于所述转成形电极（1）为圆管形。

5.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于所述旋转成形电极（1）的材质为铝、铜、铁。

6.根据权利要求1所述的成型电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于所述混合等离子体气源（5）中的大气等离子体激发气体可以为氦气、氩气等惰性气体；反应气体可以为六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮等；辅助气体可以为氧气。