[发明专利]多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法

权利要求书

1.多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法，其特征在于包括如下步骤：

步骤一：将圆盘形电极架（1）的上端面绝缘连接在龙门加工机床（2）的竖直运动工作转轴（2-1）上，圆盘形电极架（1）外圆面上竖直设置有多片薄片形电极（1-1），每片薄片形电极（1-1）都与圆盘形电极架（1）的直径所在直线共线，使每片薄片形电极（1-1）都通过圆盘形电极架（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；圆盘形电极架（1）上的多个出气孔（1-2）都通过圆盘形电极架（1）中心的导气孔（1-3）、气管（6-1）与混合等离子体气源（6）导气连通，圆盘形电极架（1）上的每个出气孔（1-2）的出口端分别设置在每片薄片形电极（1-1）附近；

步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件（4）装卡在地电极（2-3）上，地电极（2-3）固定在龙门加工机床（2）的工作平台（2-2）上；将地电极（2-3）接地作为大气等离子体放电的阴极；将龙门加工机床（2）设置在密闭工作舱（5）中；

步骤三：圆盘形电极架（1）的回转轴心线与待加工碳化硅密封环类零件（4）的轴心线重合，使每片薄片形电极（1-1）的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件（4）的待加工表面，并使它们之间都保持一定的放电间隙，放电间隙范围均为1mm-5mm；

步骤四：预热射频电源（3），预热时间为5-10分钟；然后打开混合等离子体气源（6），混合等离子体气源（6）包含反应气体、大气等离子体激发气体和辅助气体，使大气等离子体激发气体的流量为1升/分钟~40升/分钟，反应气体与大气等离子体激发气体的流量比为1：10~1：1000；辅助气体与反应气体的流量比为1：10~1：1；

步骤五：当每片薄片形电极（1-1）与待加工碳化硅密封环类零件（4）的待加工表面之间的区域内充满大气等离子体激发气体、反应气体与辅助气体的混合气体后，启动射频电源（3），逐步增加射频电源（3）的功率，使功率达到100W-400W，同时控制射频电源（3）的反射功率为零，在射频电源（3）工作的过程中持续稳定的通入混合气体，使所有薄片形电极（1-1）与待加工碳化硅密封环类零件（4）的待加工表面之间的放电区域都产生稳定的等离子体放电，启动龙门加工机床（2）的转轴（2-1）转动，使圆盘形电极架（1）做回转运动，从而带动所有薄片形电极（1-1）绕回转轴心线做回转运动；

步骤六：根据去除量的要求，控制所有薄片形电极（1-1）的运动轨迹和在零件表面的驻留时间，用上述产生的大气等离子体对零件表面进行加工；

步骤七：待加工完成后，关闭射频电源（3）的电源，关闭混合等离子体气源（6），停止龙门加工机床（2）的转轴（2-1）转动，取出待加工碳化硅密封环类零件（4），对加工去除深度进行测量，以判断是否达到加工要求。

2.根据权利要求1所述的多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法，其特征在于所述薄片形电极（1-1）的材质为铝。

3.根据权利要求1所述的多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法，其特征在于所述混合等离子体气源（6）中的大气等离子体激发气体为氦气或氩气；反应气体为六氟化硫、四氟化碳或三氟化氮；辅助气体为氧气、氢气或氮气。