[发明专利]四元系弛豫型压电单晶材料及其生长方法有效
申请号: | 201310178543.8 | 申请日: | 2013-05-14 |
公开(公告)号: | CN104152997B | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 刘锦峰;许桂生;杨丹凤;刘莹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22;C30B11/00;H01L41/187 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 郑优丽 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 四元系弛豫型 压电 材料 及其 生长 方法 | ||
1.一种四元系弛豫型压电单晶材料,其特征在于所述压电单晶材料的化学式为0.20Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.39Pb(In1/2Nb1/2)O3-0.12BiAlO3-0.29PbTiO3;所述压电单晶材料的生长方法为坩埚下降法,具体包括如下步骤:
步骤A) 按0.20Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.39Pb(In1/2Nb1/2)O3-0.12BiAlO3-0.29PbTiO3的化学计量比称取MgO、Nb2O5、In2O3、TiO2、Bi2O3和Al2O3,混合均匀成粉末,然后在900~1250℃的温度下预烧2~20h;
步骤B) 将步骤A)预烧后的物料与按化学计量比称取的铅的氧化物混合均匀,压成块体得晶体生长用起始料;
步骤C) 将晶体生长用起始料装入放有籽晶的坩埚中,将坩埚置入下降炉内;
步骤D) 在500~1250℃温度下保温3~20h,继续升高温度至1340~1410℃,保温3~15h,使晶体生长用起始料全部熔化,并使籽晶的顶部熔化,然后坩埚以0.1~1.2mm/h速度下降,逐渐结晶生长成为晶体,生长界面的温度梯度为30℃/cm;
步骤E) 待晶体生长完毕,以10~300℃/h的速度冷却到室温,得到四元系弛豫型压电单晶材料。
2.根据权利要求1所述的压电单晶材料,其特征在于,步骤A)中,在1100~1250℃的温度下预烧8~15h;步骤B)中,所述铅的氧化物为PbO、Pb3O4或它们二者的混合物。
3.根据权利要求1所述的压电单晶材料,其特征在于步骤B)中将步骤A)预烧后的物料与按化学计量比称取的铅的氧化物混合均匀,然后在700~1000℃下预烧1~8h,再压成块体得晶体生长用起始料。
4.根据权利要求3所述的压电单晶材料,其特征在于,步骤B)中将步骤A)预烧后的物料与按化学计量比称取的铅的氧化物混合均匀,然后在700~800℃下预烧2~5h,或者在800~1000℃下预烧1~3h,再压成块体得晶体生长用起始料。
5.根据权利要求1所述的压电单晶材料,其特征在于步骤D)在800~1200℃温度下保温8~12h,继续升高温度至1350~1400℃,保温4~12h,坩埚以0.3~0.8mm/h速度下降;步骤E)中的冷却速度为30~80℃/h。
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