[发明专利]扫描隧道超精密角度测量仪有效

专利信息
申请号: 201310178585.1 申请日: 2013-05-04
公开(公告)号: CN103292742A 公开(公告)日: 2013-09-11
发明(设计)人: 邹华兵;丘永亮 申请(专利权)人: 邹华兵
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510006 广东省广州市广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 扫描 隧道 精密 角度 测量仪
【权利要求书】:

1.一种扫描隧道超精密角度测量仪,主要由探针(1)、有序原子板(2)、绝缘体(3)、计算机(4)、开关(5)、电源(6)、激光头(7)、摇杆(8)、透光镜(9)、固定点(10)组成,其特征是需要使用扫描隧道显微镜扫描原子的工作原理并联合计算机来记录有序原子板(2)上被扫描的原子数,以便测量出探针(1)所平移过的弧长。

2.根据权利要求1所述的扫描隧道超精密角度测量仪,其特征是:固定点(10)到探针(1)的长度不需太长,该长度已被准确的测量,且固定不变。

3.根据权利要求1或2所述的扫描隧道超精密角度测量仪,其特征是:摇杆(8)可以绕着固定点(10)转动。

4.根据权利要求1或2或3所述的扫描隧道超精密角度测量仪,其特征是:所述的摇杆(8)上固定有激光头(7)、绝缘体(3)和探针(1);绝缘体(3)的设计是为了让摇杆(8)不带电。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的扫描隧道超精密角度测量仪,其特征是:所述的有序原子板(2)能导电,且其表面光滑平整,表面上的原子排列整齐均匀。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的扫描隧道超精密角度测量仪,其特征是:激光头(7)射出的激光线会成直线地射过透光镜(9),且该直线可以绕着固定点(10)随着摇杆(8)一起从角的一边旋转到角的另一边;激光头(7)射出的激光线也可以用延长的摇杆(8)来替代。

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