[发明专利]排气分析系统有效
| 申请号： | 201310178850.6 | 申请日： | 2013-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103424512B | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 宫井优;伊藤学;西川雅浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场制作所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N1/24;G01M3/28 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290 | 代理人： | 李雪春,王维玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排气 分析 系统 | ||
1.一种排气分析系统，其特征在于包括：
用于导入排气的导入口；
一端与所述导入口连接的主流道；
取样泵，设置在所述主流道上，用于从所述导入口对排气进行取样；
分析部，设置在所述主流道中的所述取样泵的上游侧或下游侧，用于对排气进行分析；
主流量计，设置在所述主流道中的所述分析部的上游侧或下游侧，用于确认流过所述分析部的排气是否为分析所需的流量；
泵异常判断部，根据利用所述主流量计的输出值得到的所述取样泵的泵流量是否满足规定的异常条件，来判断所述取样泵的异常，
上游侧开关阀和下游侧开关阀，设置在所述主流道中的所述取样泵的上游侧和下游侧；
排气流道，与所述主流道中的所述取样泵和所述下游侧开关阀之间连接；
排气流量计，设置在所述排气流道上，测量流过所述排气流道的排气流量；以及
泄漏异常判断部，通过关闭所述上游侧开关阀和所述下游侧开关阀，并启动所述取样泵，利用所述排气流量来进行泄漏检查。
2.一种排气分析系统，其特征在于包括：
用于导入排气的导入口；
一端与所述导入口连接的主流道；
取样泵，设置在所述主流道上，用于从所述导入口对排气进行取样；
分析部，设置在所述主流道中的所述取样泵的上游侧或下游侧，用于对排气进行分析；
主流量计，设置在所述主流道中的所述分析部的上游侧或下游侧，用于确认流过所述分析部的排气是否为分析所需的流量；
泵异常判断部，根据利用所述主流量计的输出值得到的所述取样泵的泵流量是否满足规定的异常条件，来判断所述取样泵的异常，
上游侧开关阀和下游侧开关阀，设置在所述主流道中的所述取样泵的上游侧和下游侧；
排气流道，与所述主流道中的所述取样泵和所述下游侧开关阀之间连接；
排气流量计，设置在所述排气流道上，测量流过所述排气流道的排气流量；以及
泄漏异常判断部，通过关闭所述上游侧开关阀和所述下游侧开关阀，并启动所述取样泵，利用所述排气流量来进行泄漏检查，
所述泄漏异常判断部在所述取样泵上游侧进行泄漏检查。
3.根据权利要求1或2所述的排气分析系统，其特征在于
所述泄漏异常判断部算出作为所述取样泵的泵流量与所述排气流量的比的泄漏率，并通过比较所述泄漏率与规定的异常泄漏率来判断所述主流道的泄漏异常。
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