[发明专利]一种具有导电性能的复合陶瓷层的制备方法

权利要求书

1.一种具有导电性能的复合陶瓷层的制备方法，其特征是：包括以下步骤：

（1）将基材经冷加工处理，在其上切取试样；

（2）对切取的试样表面进行前处理：砂纸打磨→自来水清洗→丙酮清洗→去离子水清洗→吹干；

（3）放置到微弧氧化装置中进行微弧氧化处理，制备一层陶瓷层；

（4）将微弧氧化后的试样进行超声波清洗；

（5）在磁控溅射装置中沉积氮化钛涂层，实现复合陶瓷层具有导电性能；

（6）清洗并干燥，获得具有导电性能的复合陶瓷层。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征是：步骤（3）所述的微弧氧化装置为恒定电流供电，采用恒流的方法处理15 ~100min，膜的厚度为30 ~100μm；电解液溶度及电参数范围为：偏铝酸钠10 ~ 20g/L，氢氧化钠0.5 ~ 4g/L，六偏磷酸钠5 ~18g/L，电流密度为8 ~25A/dm²，频率200 ~ 700HZ，正负脉冲数了5∶2，占空比为5 ~ 40%。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征是：步骤（5）所述的磁控溅射镀的工艺参数为：真空度为10^-5 ~ 10^-4Pa，通入氩气至1 ~ 35 Pa，用-500 ~ -1500V的偏压清洗陶瓷层10 ~ 50 min；沉积温度：室温 ~ 400℃，沉积气压为0.5 ~ 10Pa，沉积偏压为-100 ~ -300V，沉积时间为20 ~ 90min。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征是：所述基材为AL、Mg、Ti轻金属材料中任意一种。