[发明专利]氩气的纯化方法及纯化装置

权利要求书

1.氩气的纯化方法，其特征在于，

在纯化至少含有氢、一氧化碳、氮和氧作为杂质、最初含有的氧量比与最初含有的全部的氢和一氧化碳反应所需的化学计算量多的氩气时，包括：

第一反应工序，该工序中，利用催化剂使所述氩气中最初含有的氢和一氧化碳与最初含有的氧反应；

氢添加工序，该工序中，向所述氩气中添加氢，该氢的量少于与通过实施所述第一反应工序而残留在所述氩气中的全部的氧反应所需的化学计算量；

第二反应工序，该工序中，利用催化剂使通过实施所述第一反应工序而残留在所述氩气中的氧与所述氢添加工序中添加的氢反应；

冷却工序，该工序中，将实施所述第二反应工序后的所述氩气冷却，以使其含水量减少；

脱水工序，该工序中，通过脱水操作来减少实施所述冷却工序后的所述氩气的水分含有率；

变压吸附工序，该工序中，通过变压吸附法使所述脱水操作后残留在所述氩气中的至少是二氧化碳、氮和氧吸附于吸附剂；

在所述第一反应工序前不进行氩气的杂质浓度的分析和氢气添加，只在所述第二反应工序前进行氩气的杂质浓度的分析和氢气添加；

所述吸附剂包含活性氧化铝、沸石类吸附剂和碳分子筛。

2.如权利要求1所述的氩气的纯化方法，其特征在于，所述氢添加工序中添加的氢量是与通过实施所述第一反应工序而残留在所述氩气中的全部的氧反应所需的化学计算量的95％以上且少于100％。

3.如权利要求1或2所述的氩气的纯化方法，其特征在于，所述氩气含有在所述第一反应工序前追加的烃和油分作为杂质，最初含有的氧量比与最初含有的全部的氢、一氧化碳和追加的烃反应所需的化学计算量多，

使所述氩气中的烃的一部分和油分吸附于活性炭后，在所述第一反应工序中利用催化剂使所述氩气中最初含有的氢、一氧化碳和追加的烃与最初含有的氧反应。

4.如权利要求1或2所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在所述变压吸附工序中，使二氧化碳吸附于活性氧化铝后，使氮吸附于沸石类吸附剂。

5.如权利要求3所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在所述变压吸附工序中，使二氧化碳吸附于活性氧化铝后，使氮吸附于沸石类吸附剂。

6.如权利要求4所述的氩气的纯化方法，其特征在于，所述沸石类吸附剂是X型沸石分子筛。

7.如权利要求5所述的氩气的纯化方法，其特征在于，所述沸石类吸附剂是X型沸石分子筛。