[发明专利]致热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法

权利要求书

1.一种致热型MEMS热电堆红外探测器结构，包括衬底（101）；其特征是：所述衬底（101）的上表面设置介质支撑膜（301），所述介质支撑膜（301）与衬底（101）内的释放阻挡体共同形成释放阻挡带（302），衬底（101）内的上部通过释放阻挡带（302）形成热隔离腔体（901）；热隔离腔体（901）的正上方设有红外吸收层（501），所述红外吸收层（501）的外侧设有若干热电堆，且所述红外吸收层（501）外侧的若干热电堆串接后电连接成一体；热电堆对应邻近红外吸收层（501）的一端形成探测冷端，热电堆对应远离红外吸收层（501）的一端形成探测热端，热电堆的探测冷端与红外吸收层（501）相接触，热电堆的探测热端位于介质支撑膜（301）上并通过第一电绝缘热导通结构（502）与微型加热电阻条（703）相连；所述微型加热电阻条（703）与位于相互串接的热电堆外侧的第二金属电极（705）电连接。

2.根据权利要求1所述的致热型MEMS热电堆红外探测器结构，其特征是：相互串接的热电堆外侧设置用于将探测电压输出的第一金属电极（704），所述第一金属电极（704）与串接的热电堆电连接。

3.根据权利要求1所述的致热型MEMS热电堆红外探测器结构，其特征是：所述热电堆包括第一热偶条（401）及与所述第一热偶条（401）对应配合的第二热偶条（402），所述第一热偶条（401）及第二热偶条（402）对应形成探测热端的一端通过第二金属连接线（702）电连接，第一热偶条（401）及第二热偶条（402）对应形成探测冷端的一端通过第一金属连接线（701）电连接，以将红外吸收层（501）外侧的热电堆串联成一体。

4.根据权利要求3所述的致热型MEMS热电堆红外探测器结构，其特征是：所述红外吸收层（501）在探测冷端趴跨在第一热偶条（401）及第二热偶条（402）的端部，以在第一热偶条（401）、第二热偶条（402）的端部形成第二电绝缘热导通结构（503），红外吸收层（501）通过第二电绝缘热导通结构（503）与第一热偶条（401）及第二热偶条（402）接触。

5.根据权利要求1所述的致热型MEMS热电堆红外探测器结构，其特征是：所述微型加热电阻条（703）的加热温度范围为40-250摄氏度。

6.根据权利要求3所述的致热型MEMS热电堆红外探测器结构，其特征是：所述红外吸收层（501）上覆盖有红外吸收层保护膜（601），第一热偶条（401）及第二热偶条（402）上设置有热偶条保护膜（602）。